[发明专利]电子帘加速器、接收极和电子加速方法

权利要求书

1.一种电子帘加速器，包括：电子束发射组件和接收极以及钛窗，其特征在于，所述电子束发射组件向所述接收极发出被散焦的电子束，所述接收极朝向所述电子束发射组件侧呈现凸起状，以便对被散焦的电子束产生汇聚作用，在所述钛窗处形成一个宽度相当于或接近钛窗宽度的电子束；

其中，所述接收极凸起的程度根据所述电子束发射组件与所述接收极间电场的散焦场强度获取，或者，根据所述电子束发射组件与所述接收极间电场的散焦场强度、所述电子束发射组件所在真空室内的最高场强、以及所述电子束发射组件与所述接收极间距获取。

2.根据权利要求1所述的电子帘加速器，其特征在于，所述接收极朝向所述电子束发射组件侧呈现中部高两侧低的阶梯状。

3.根据权利要求1所述的电子帘加速器，其特征在于，所述接收极朝向所述电子束发射组件侧呈现中部高两侧低的圆弧状、椭圆状或者抛物线状。

4.根据权利要求2所述的电子帘加速器，其特征在于，所述阶梯状为中心对称的阶梯状。

5.根据权利要求2或4所述的电子帘加速器，其特征在于，所述阶梯状的下降梯度根据所述电子束发射组件与所述接收极间电场的散焦场强度获取。

6.根据权利要求2或4所述的电子帘加速器，其特征在于，所述阶梯状的下降梯度根据所述电子束发射组件与所述接收极间电场的散焦场强度、所述电子束发射组件所在真空室内的最高场强、以及所述电子束发射组件与所述接收极间距获取。

7.根据权利要求3所述的电子帘加速器，其特征在于，所述圆弧状、椭圆状或者抛物线状为中心对称的圆弧状、椭圆状或者抛物线状。

8.根据权利要求3或7所述的电子帘加速器，其特征在于，所述圆弧状、椭圆状或者抛物线状的曲率根据所述电子束发射组件与所述接收极间电场的散焦场强度获取。

9.根据权利要求3或7所述的电子帘加速器，其特征在于，所述圆弧状、椭圆状或者抛物线状的曲率根据所述电子束发射组件与所述接收极间电场的散焦场强度、所述电子束发射组件所在真空室内的最高场强、以及所述电子束发射组件与所述接收极间距获取。

10.根据权利要求1-3任一项所述的电子帘加速器，其特征在于，还包括：钛窗，所述钛窗的厚度范围是10um～20um。

11.一种接收极，应用于电子帘加速器，其特征在于，所述接收极朝向所述电子帘加速器的电子束发射组件侧呈现凸起状，以便对被散焦的电子束产生汇聚作用，在钛窗处形成一个宽度相当于或接近钛窗宽度的电子束；

其中，所述接收极凸起的程度根据所述电子束发射组件与所述接收极间电场的散焦场强度获取，或者，根据所述电子束发射组件与所述接收极间电场的散焦场强度、所述电子束发射组件所在真空室内的最高场强、以及所述电子束发射组件与所述接收极间距获取。

12.根据权利要求11所述的接收极，其特征在于，所述接收极朝向所述电子束发射组件侧呈现中部高两侧低的阶梯状；

或者，所述接收极朝向所述电子束发射组件侧呈现中部高两侧低的圆弧状、椭圆状或者抛物线状。

13.根据权利要求12所述的接收极，其特征在于，所述阶梯状的下降梯度、或者所述圆弧状、椭圆状或者抛物线状的曲率根据所述电子束发射组件与所述接收极间电场的散焦场强度获取。

14.一种电子加速方法，其特征在于，朝向电子束发射组件侧呈现凸起状的接收极对所述电子束发射组件射出的被散焦的电子束进行汇聚，在钛窗处形成一个宽度相当于或接近钛窗宽度的电子束，以提高电子束在所述接收极的通过率；

其中，所述接收极凸起的程度根据所述电子束发射组件与所述接收极间电场的散焦场强度获取，或者，根据所述电子束发射组件与所述接收极间电场的散焦场强度、所述电子束发射组件所在真空室内的最高场强、以及所述电子束发射组件与所述接收极间距获取。