[发明专利]玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置。

背景技术

以往，在制造玻璃板时，进行使用溢流下拉(over flow down draw)法成形玻璃板的操作。在溢流下拉法中，将玻璃原料在熔解槽中熔融制作熔融玻璃，对该熔融玻璃实施澄清处理、均质化处理之后，熔融玻璃通过输送管被供给至长条状的成形体。在长条状的成形体中，在成形体的上部设置有沿长度方向延伸的槽部，对该槽部的一端供给熔融玻璃。关于该槽部，从熔融玻璃的供给侧越是向长度方向的相反侧前进，槽的深度变得越浅，所以熔融玻璃从成形体的槽部溢出，沿成形体两侧的侧壁向下方流下。在成形体两侧的侧壁向下方流下的熔融玻璃在成形体的下端合流，贴合成1个，而成为玻璃板(玻璃片)。

但是，将熔融玻璃向成形体供给的输送管的流路截面形状一般来说为圆形状，成形体的槽部的流路截面形状为矩形或多边形形状。使输送管的流路截面形状为圆形状是为了即使向输送管内填充高温的熔融玻璃，也不存在弯曲的部分，优选为可以维持强度。另一方面，使成形体槽部的流路截面形状为矩形或多边形形状是为了提高槽部加工的容易性。例如，在专利文献1的图1、图3中，揭示有具有流路截面形状为圆形状的输送管、与流路截面形状为矩形形状的槽部的成形体。此时，从圆形形状的输送管，向成形体的槽部供给熔融玻璃时，熔融玻璃的流路截面有阶差而急剧扩大。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特表2008-501609号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

如此，一般来说，将熔融玻璃向成形体供给的输送管的流路截面形状为圆形状，成形体的槽部的流路截面形状为矩形或多边形形状，所以当从输送管向成形体的槽部供给熔融玻璃时，熔融玻璃的流路截面有阶差而急剧扩大。因此，存在由熔融玻璃流路的急剧扩大，造成在成形体的槽部内，熔融玻璃的流动容易局部地停留(滞留)的情况。熔融玻璃流动的停留容易造成熔融玻璃的失透。并且，熔融玻璃流动的停留容易造成产生不同性质的质地(不同性质的熔融玻璃)，也容易导致产生条纹。如果更详细来说，那么熔融玻璃的流动停留后，与其他部分的熔融玻璃相比，与成形体接触的时间变长，所以容易从成形体的表面熔出成形体的成分，而导致熔融玻璃的玻璃组成局部发生变化。并且，容易受到成形体的温度的影响，而使熔融玻璃的粘度局部发生变化。也就是说，熔融玻璃中容易产生不同性质的质地(不同性质的熔融玻璃)，其结果为最终产品的玻璃板中容易产生条纹，并且玻璃板的厚度容易变得不均匀。

并且，关于平板显示器用玻璃板，是在玻璃板上形成TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)等半导体元件。近年来，为了实现显示器显示的进一步的高清化，而要求代替以往所使用的a-Si(amorphous silicon，非晶硅)·TFT，在玻璃板上形成p-Si(低温多晶硅)·TFT或氧化物半导体。在p-Si·TFT或氧化物半导体的形成步骤中，存在比a-Si·TFT的形成步骤更高温的热处理步骤。因此，要求供形成p-Si(低温多晶硅)TFT或氧化物半导体的玻璃板的热收缩率小。为了缩小热收缩率，而优选为提高玻璃的应变点，但应变点高的玻璃，有液相温度变高的倾向，且有液相粘度(液相温度中的粘度)变低的倾向。因此，也存在玻璃板(玻璃片)的成形所需的熔融玻璃的粘度(成形粘度)与液相粘度的差变小，或成形粘度大于液相粘度的情况，其结果为玻璃容易失透。因此，当利用p-Si(低温多晶硅)·TFT形成用或氧化物半导体形成用等特别是液相粘度低的玻璃制造玻璃片时，必须极力避免以下情况：在有从成形体的表面熔出成形体的成分、液相粘度上升(产生失透)的危险的这样的成形体的槽部内，熔融玻璃的一部分的流动容易停留。

因此，为了解决以往的问题点，本发明的目的在于提供一种玻璃板的制造方法及玻璃板的制造装置，所述玻璃板的制造方法在使用成形体成形熔融玻璃时，使通过成形体的槽部的熔融玻璃的流动难以停留，而使熔融玻璃不产生失透及不同性质的熔融玻璃，从而可以制造无条纹、均匀板厚的高品质的玻璃板。

[解决问题的技术手段]

本发明的一态样的特征在于是使熔融玻璃流至成形体来制造玻璃板的玻璃板制造方法，且包括：

熔解步骤，将玻璃原料熔解而产生熔融玻璃；

供给步骤，通过输送管将所述熔融玻璃向所述成形体供给；及

成形步骤，一面使所述熔融玻璃流至所述成形体的槽部一面利用下拉法从所述熔融玻璃成形玻璃板；且