[发明专利]光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法

权利要求书

1.光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，其特征在于：采用四根光纤进行剪切干涉测量，包括以下步骤：

步骤一：短相干长度的激光器发出的激光经过中性密度滤光片和1/2波片后，经第一偏振分光棱镜分出两路光：一路光经过第一1/4波片、第一角锥棱镜和第一平面反射镜后，原路返回第一偏振分光棱镜，再经过第二偏振分光棱镜和第一偏振片后，通过第一耦合透镜耦合入第一光纤；另一路光经过第二1/4波片、第二角锥棱镜和第二平面反射镜后，原路返回第一偏振分光棱镜，再经过第二偏振分光棱镜和第二偏振片后，通过第二耦合透镜耦合进入第三光纤中，第一光纤和第三光纤衍射分别产生第一球面波和第二球面波，两个球面波发生干涉叠加，直接用CCD记录干涉条纹；

步骤二：调节1/2波片，使第二偏振分光棱镜分出的两路光的光强基本一致，旋转第一偏振片和第二偏振片，使进入第一光纤和第三光纤的两束光波的偏振态基本一致，从而提高干涉条纹的对比度；

步骤三：调节第一角锥棱镜，使两路光的光程相等，进一步提高干涉条纹的对比度；

步骤四：调节第二角锥棱镜进行移相，由CCD记录干涉图，在计算机中进行图像处理后获得两路光的光程差，从光程差中去除第一光纤和第三光纤的间距引入的彗差和CCD倾斜引入的像散，便可获得两光纤衍射参考波前沿第一光纤和第三光纤连线方向上的偏差；

步骤五：改变第一光纤和第三光纤的夹角，重复步骤四，获得不同夹角下，两光纤衍射参考波前沿第一光纤和第三光纤连线方向上的偏差，比较两光纤衍射参考波前在不同夹角下的这些偏差，求得光纤衍射参考波前沿第一光纤和第三光纤连线方向上相对于理想球面的偏差；

步骤六：将第一光纤和第三光纤拔出，重新将光路耦合入第二光纤和第四光纤，重复步骤四和步骤五，获得光纤衍射参考波前沿第二光纤和第四光纤连线方向上相对于理想球面的偏差；

步骤七：由步骤五和步骤六，便完成了光纤衍射参考波前沿两个正交方向上相对于理想球面偏差的测量。

2.根据权利要求1所述的光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，其特征在于，所述第一光纤、第二光纤、第三光纤和第四光纤的末端紧密的靠在一起，它们的纤芯连线构成一个正方形，且纤芯位于正方形的四个顶角上，即第一光纤和第三光纤的连线与第二光纤和第四光纤的连线相互垂直。

3.根据权利要求2所述的光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，其特征在于，所述第一光纤和第三光纤、第二光纤和第四光纤之间夹角的范围是0°～4°，且四根光纤的应力线互相平行，它们的末端经过抛光处理。

4.根据权利要求1所述的光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，其特征在于，所述第二角锥棱镜通过PZT驱动进行移相。