[发明专利]玻璃基板的制造方法以及玻璃基板的制造装置

说明书

本发明涉及一种玻璃基板的制造方法以及玻璃基板的制造装置。所述玻璃基板的制造方法以及玻璃基板的制造装置抑制铂族金属被氧化而挥发。本发明提供一种使用处理熔融玻璃的处理装置来处理熔融玻璃的玻璃基板的制造方法。以在熔融玻璃的液面的上部形成气相空间的方式，对内壁的至少一部分包含含有铂族金属的材料的处理装置的内部供给熔融玻璃，使对铂族金属不活泼的气体流入至气相空间，从连接气相空间与处理装置的外部空间的排气口抽吸气相空间内的气体，测量从排气口抽吸的气体中的氧浓度，以使氧浓度成为5.0％以下的范围的方式，调节对铂族金属不活泼的气体朝气相空间的流入量。

技术领域

本发明涉及一种制造玻璃基板的玻璃基板的制造方法以及玻璃基板的制造装置。

背景技术

一般来说，玻璃基板是经过从玻璃原料生成熔融玻璃后，使熔融玻璃成形为玻璃基板的步骤而制造。在所述步骤中，包括去除熔融玻璃所内包的微小气泡的步骤(以下也称为澄清)。澄清是通过如下方式而进行：一边加热澄清管的主体，一边使调配了澄清剂的熔融玻璃通过该澄清管主体，利用澄清剂的氧化还原反应，将熔融玻璃中的泡去除。更具体来说，进一步提高粗熔解的熔融玻璃的温度，使澄清剂发挥功能而使泡浮起消泡之后，使温度降低，由此，使熔融玻璃吸收未彻底消泡而残留的相对较小的泡。即，澄清包括使泡浮起消泡的处理(以下也称为消泡处理或消泡步骤)以及使熔融玻璃吸收小泡的处理(以下也称为吸收处理或吸收步骤)。

与成形前的高温熔融玻璃接触的部件的内壁需要根据与该部件接触的熔融玻璃的温度、所要求的玻璃基板的品质等而由适当的材料构成。例如，已知构成所述澄清管主体的材料通常使用铂族金属的单质或合金(专利文献1)。铂族金属的熔点高，且对熔融玻璃的耐蚀性也优异。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2010-111533号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

如果熔融玻璃通过在内壁面使用铂族金属的处理装置，那么在与经加热的内部表面的气相空间(含氧的氛围)接触的部分，铂族金属会作为氧化物而挥发。另一方面，铂族金属的氧化物在处理装置的温度局部降低的位置被还原，经还原的铂族金属附着至内壁面。有附着至内壁面的铂族金属落下并混入至消泡步骤中的熔融玻璃中，从而作为异物混入至玻璃基板的担忧。

本发明的目的在于提供一种可抑制铂族金属被氧化而挥发且制造品质高的玻璃基板的玻璃基板的制造方法以及制造装置。

[解决问题的技术手段]

为了解决所述问题，本发明的第一形态是一种玻璃基板的制造方法，其特征在于：使用处理熔融玻璃的处理装置来处理熔融玻璃，且

当处理熔融玻璃时，

以在熔融玻璃的液面的上部形成气相空间的方式，对内壁的至少一部分包含含有铂族金属的材料的处理装置的内部供给熔融玻璃，

通过从连接所述气相空间与所述处理装置的外部空间的排气口抽吸所述气相空间内的气体，使对铂族金属不活泼的气体流入至所述气相空间，

测量从所述排气口抽吸的气体中的氧浓度，

以使所述氧浓度成为5.0％以下的范围的方式，调节所述对铂族金属不活泼的气体朝所述气相空间的流入量。

这里，对铂族金属不活泼的气体是指在处理装置中处理熔融玻璃时的气相空间的温度下对铂族金属不活泼的气体、与铂族金属的反应性比氧气低的气体，例如氮气(N₂)、稀有气体(例如氩气(Ar))、一氧化碳(CO)等。

优选以使所述氧浓度成为5.0％以下的范围的方式调节从所述排气口的抽吸压力。进而，优选以使所述氧浓度成为0.1％以上且3.0％以下的范围的方式调节所述对铂族金属不活泼的气体的供给量。