[发明专利]一种掩膜版装载盒有效
| 申请号： | 201510149035.6 | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN104698740B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 马兰涛;朱骏;张旭升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/66 | 分类号： | G03F1/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 装载 | ||
1.一种掩膜版装载盒，其特征在于，所述掩膜版装载盒，包括：
掩膜版容置腔室，用于容置待存放之掩膜版；
底部，设置在所述掩膜版容置腔室之底端，并在所述底部间隔设置相互独立的通孔，且所述通孔沿着所述掩膜版容置腔室的底端与所述底部之紧邻掩膜版容置腔室的一侧设置呈非密闭式连接的阻隔板；
密闭孔塞和通气孔塞，所述密闭孔塞和所述通气孔塞之大小均与所述底部之通孔的大小相匹配，并用于插塞所述通孔，所述底部之通孔内选择性的插塞密闭孔塞和通气孔塞；
所述密闭孔塞与所述阻隔板之总高度与所述通孔的高度相等。
2.如权利要求1所述的掩膜版装载盒，其特征在于，所述阻隔板为十字型阻隔板或者蜂窝型阻隔板。
3.如权利要求1所述的掩膜版装载盒，其特征在于，所述通孔的内径为1～2cm。
4.如权利要求1所述的掩膜版装载盒，其特征在于，所述密闭孔塞和所述通气孔塞之材质与所述掩膜版装载盒之底部的材质相同。
5.如权利要求1所述的掩膜版装载盒，其特征在于，所述掩膜版装载盒之密闭孔塞呈圆柱状，且所述密闭孔塞之外径与所述掩膜版装载盒之通孔的内径相等，所述密闭孔塞与所述阻隔板之总高度与所述底部之通孔的高度相等。
6.如权利要求1所述的掩膜版装载盒，其特征在于，所述通气孔塞之外径与所述底部之通孔的内径相同，且所述通气孔塞与所述阻隔板之总高度与所述底部之通孔的高度相等。
7.如权利要求1所述的掩膜版装载盒，其特征在于，所述掩膜版装载盒之通气孔塞进一步包括：
孔塞外桶壁，呈中空柱状，并在所述孔塞外桶壁之顶端设置非密闭支架；
过滤器，设置在所述孔塞外桶壁之紧邻所述非密闭支架的一端；
卡塞，设置在所述过滤器之异于所述非密闭支架的一侧，并用于卡设所述过滤器。
8.如权利要求7所述的掩膜版装载盒，其特征在于，所述卡塞与所述过滤器之总厚度小于或者等于所述孔塞外桶壁之高度的一半。
9.如权利要求7所述的掩膜版装载盒，其特征在于，所述过滤器为空气过滤器。
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