[发明专利]清洗装置及清洗方法

权利要求书

1.一种清洗装置，其特征在于，

具有：保持衬底并以所述衬底的中心轴为旋转轴而使所述衬底旋转的衬底旋转机构；朝向被所述衬底旋转机构保持的所述衬底的上表面排出第1清洗液的第1单管喷嘴；朝向被所述衬底旋转机构保持的所述衬底的上表面喷雾第2清洗液的喷雾式喷嘴，

所述第1单管喷嘴以使所述第1清洗液着落于所述衬底的中心的近前，并使着落的所述第1清洗液在所述衬底的上表面朝向所述衬底的中心流动的方式排出所述第1清洗液，

从所述第1单管喷嘴排出的所述第1清洗液着落后在所述衬底的上表面的液流通过所述衬底的中心，

由所述第1单管喷嘴进行的所述第1清洗液的排出和由所述喷雾式喷嘴进行的所述第2清洗液的喷雾同时进行，

所述喷雾式喷嘴的喷雾方向相对于所述衬底的上表面的入射角比所述第1单管喷嘴的排出方向相对于所述衬底的上表面的入射角大。

2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，

所述第2清洗液的着落位置与所述第1清洗液的着落位置相比位于所述衬底的旋转方向的上游侧。

3.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，

所述喷雾式喷嘴中喷雾量为最大的喷雾量最大方向从喷雾中心偏移而靠近所述衬底的中心。

4.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，

所述喷雾式喷嘴在所述衬底的半径的大致全长范围内喷雾所述第2清洗液，所述喷雾量最大方向朝向所述衬底的中心或所述衬底的中心附近。

5.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，

还具有滚动清洗部件，该滚动清洗部件在所述衬底的直径的大致全长范围内直线状地延伸，一边绕与所述衬底平行的中心轴自转一边与所述衬底的上表面滑动接触，

所述第1单管喷嘴使所述第1清洗液着落于所述滚动清洗部件的滚动卷入侧区域。

6.根据权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，

所述第1单管喷嘴的排出方向与所述滚动清洗部件的延伸方向所成的角度在俯视下为90度±30度。

7.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，

还具有笔形清洗部件，该笔形清洗部件被支承于臂的前端，绕与所述衬底垂直的中心轴自转，并且通过所述臂的转动而在从所述衬底的中心到外周范围内一边与所述衬底的上表面滑动接触一边移动，

所述第1单管喷嘴使所述第1清洗液着落于与所述笔形清洗部件的移动轨迹相比的所述衬底的旋转方向的上游侧。

8.一种清洗装置，其特征在于，

具有：保持衬底并以所述衬底的中心轴为旋转轴而使所述衬底旋转的衬底旋转机构；朝向被所述衬底旋转机构保持的所述衬底的上表面排出第1清洗液的第1单管喷嘴；朝向被所述衬底旋转机构保持的所述衬底的上表面喷雾第2清洗液的喷雾式喷嘴，

由所述第1单管喷嘴进行的所述第1清洗液的排出和由所述喷雾式喷嘴进行的所述第2清洗液的喷雾同时进行，

所述喷雾式喷嘴的喷雾方向相对于所述衬底的上表面的入射角比所述第1单管喷嘴的排出方向相对于所述衬底的上表面的入射角大。

9.一种清洗方法，以衬底的中心轴为旋转轴而使所述衬底旋转，在从第1单管喷嘴朝向所述衬底的上表面排出第1清洗液的同时，从喷雾式喷嘴朝向所述衬底的上表面喷雾第2清洗液，其特征在于，

所述第1清洗液着落于所述衬底的中心的近前，着落后的所述衬底的上表面上的液流通过所述衬底的中心，

所述喷雾式喷嘴的喷雾方向相对于所述衬底的上表面的入射角比所述第1单管喷嘴的排出方向相对于所述衬底的上表面的入射角大。

10.根据权利要求9所述的清洗方法，其特征在于，

从所述第1单管喷嘴朝向所述衬底的上表面排出的第1清洗液使用酸性药液或弱碱性药液，

从所述喷雾式喷嘴朝向所述衬底的上表面喷雾的第2清洗液使用超纯水或功能水。