[发明专利]并行坩埚清洁机器人在审
申请号: | 201510151604.0 | 申请日: | 2015-04-01 |
公开(公告)号: | CN104785480A | 公开(公告)日: | 2015-07-22 |
发明(设计)人: | 班书昊;李晓艳;柳铭;蒋学东;席仁强;谭邹卿 | 申请(专利权)人: | 常州大学 |
主分类号: | B08B9/36 | 分类号: | B08B9/36 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213164 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 并行 坩埚 清洁 机器人 | ||
1.并行坩埚清洁机器人,其特征在于:包括2个转动模块(1A和1B)、(n+1)组坩埚手模块(2)、移动模块(3)、(n+1)组坩埚刷(4)、设备板(5);所述第1转动模块(1A)和所述移动模块(3)分别装设于设备板(5)上的左右两侧;所述坩埚手模块(2)装设于所述第1转动模块(1A)上,所述坩埚刷(4)装设于所述第2转动模块(1B)上;所述第2转动模块(1B)装设于所述移动模块(3)上。
2.根据权利要求1所述的2个转动模块(1A和1B),其特征在于:每个转动模块包括左支架(11A和11B)、右支架(12A和12B)、n组从动轴(13A和13B)、装设于从动轴(13B)上的n组从动轮(14)、主动轴(15A和15B)、装设于主动轴(15)上的主动轮(16A和16B)、装设于所述左支架(11)上的旋转电机架(17A和17B)、装设于旋转电机架(17)上的电机(6A和6B)。
3.根据权利要求1所述的坩埚手模块(2),其特征在于:包括锁紧弹簧(21)、锁紧轴(22)、定位架(23)、2个对称安装的坩埚手(24);所述锁紧弹簧(21)左端连接所述从动轴(13)的右端,其右端连接所述锁紧轴(22)的左端;所述锁紧轴(22)右端通过铰链与2个所述坩埚手(24)相连;所述定位架(23)左端装设于所述右支架(12A)上,其右端可在坩埚手(24)的滑槽内做直线运动。
4.根据权利要求1所述的移动模块(3),其特征在于:包括装设于设备板(5)上的导轨(31)、滚动丝杆(32)、L型电机架、丝杠座(34)和复合移动块(35)。
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