[发明专利]一种针对X射线龙虾眼物镜的装调装置及其应用

权利要求书

1.一种针对X射线龙虾眼物镜的装调装置，其特征在于，该装调装置包括：

镜片装配单元：包括用于放置待装调镜片的物镜底座(5)，以及与物镜底座(5)连接的六维电控位移平台(4)，六维电控位移平台(4)带动物镜底座(5)上下、左右、前后移动；

位移传感单元：包括位于六维电控位移平台(4)一侧的一维调节平台(3)、与一维调节平台(3)连接的位移传感器定位支架(2)、以及夹持在位移传感器定位支架(2)上的色散共焦位移传感器(1)，所述的色散共焦位移传感器(1)通过光纤连接色散共焦位移计控制器，通过色散共焦位移计控制器控制色散共焦位移传感器(1)；

垫片研磨单元：包括位于六维电控位移平台(4)另一侧的U型支架(7)、设在U型支架(7)上的气浮轴(8)，以及与气浮轴(8)连接的研磨头(9)；

所述的六维电控位移平台(4)包含3台超精密滚珠螺杆传动线性滑块导轨电控平移台、1台360°电动精密转台及1台二维电动精密弧摆台，3台电控平移台通过螺钉连接且相互正交，分别沿x、y、z轴设置，沿x轴方向安装的电控平移台固定在光学平台上，其余两个电控平移台依次互相连接，360°电动精密转台安装在沿z轴设置的电控平移台上，二维电动精密弧摆台安装在360°电动精密转台上；

所述的物镜底座(5)设置在物镜转接板(6)上，所述的物镜转接板(6)设置在六维电控位移平台(4)上的二维电动精密弧摆台上；

该装调装置还包括在装配时与镜片装配单元配合使用的镜片施压件(11)及配重块(12)，所述镜片施压件(11)为高分子聚合物材质，其与镜片接触部分的材质为橡胶，所述镜片施压件(11)上方中空，所述镜片施压件(11)在镜片安装完毕后置于镜片上方，所述的配重块(12)叠放在镜片施压件(11)上。

2.根据权利要求1所述的一种针对X射线龙虾眼物镜的装调装置，其特征在于，所述的一维调节平台(3)为一维丝杠调节平移台，所述的一维调节平台(3)竖直放置，沿垂直方向调节位移传感器定位支架(2)上下移动。

3.根据权利要求1所述的一种针对X射线龙虾眼物镜的装调装置，其特征在于，所述的垫片研磨单元还包括与真空泵连接的真空抽气软管(10)，在垫片研磨过程中，所述的真空抽气软管(10)安置在物镜侧面，用于去除研磨过程中的垫片粉屑。

4.根据权利要求1所述的一种针对X射线龙虾眼物镜的装调装置，其特征在于，所述的研磨头(9)为金刚石磨头，采用高品位多棱角金刚石电镀而成。

5.根据权利要求1所述的一种针对X射线龙虾眼物镜的装调装置，其特征在于，所述的物镜底座(5)底面为水平的厚平板玻璃，两侧为水平固定镜片的框架。

6.一种如权利要求1所述的针对X射线龙虾眼物镜的装调装置的应用，其特征在于，该应用包括以下步骤：

1)将物镜底座(5)安装在六维电控位移平台(4)上的物镜转接板(6)上，并将色散共焦位移传感器(1)安装在位移传感器定位支架(2)上；

2)将镜片安装在物镜底座(5)上，在镜片的4个边角处涂上环氧树脂，粘贴上石墨垫片；

3)调节六维电控位移平台(4)在竖直方向移动，使镜片表面与色散共焦位移传感器(1)工作面精确匹配，并检测其距离的数值；

4)通过调节六维电控位移平台(4)，使物镜底座(5)水平移动至研磨头(9)下方；

5)设定研磨头(9)的高度参数，以及研磨厚度，并将真空抽气软管(10)对准镜片的侧面，启动研磨头(9)，对石墨垫片进行研磨；

6)研磨完毕后，将研磨头(9)退回，平移物镜底座(5)至色散共焦位移传感器(1)下方，并在石墨垫片上点上环氧树脂，安装上层镜片；

7)将镜片施压件(11)置于镜片之上，打开色散共焦位移传感器(1)，直接检测；

8)根据色散共焦位移传感器(1)检测的数据，调整镜片施压件(11)上配重块(12)的数量，直至镜片间距满足设计值；

9)重复步骤2)-8)，逐层安装镜片。