[发明专利]相变存储单元及其制作方法在审
| 申请号： | 201510152654.0 | 申请日： | 2015-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN106159085A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 李莹;宋志棠 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;H01L21/822 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;张永明 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 相变 存储 单元 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】：
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