[发明专利]传感器在审
申请号: | 201510154970.1 | 申请日: | 2015-04-02 |
公开(公告)号: | CN104977326A | 公开(公告)日: | 2015-10-14 |
发明(设计)人: | 朴寅吉;卢泰亨;朴城撤;权起范;李昇桓;郑俊镐 | 申请(专利权)人: | 英诺晶片科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨贝贝;臧建明 |
地址: | 韩国京畿道安山市*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器 | ||
1.一种传感器,包括:
绝缘层;
至少两个加热器图案,其在一个方向上在所述绝缘层中分离且彼此电连接;
与所述加热器图案隔绝的至少两个感测电极图案,其在所述一个方向上在所述绝缘层中分离且彼此电连接;以及
感测材料,所述感测材料的至少一部分埋入所述绝缘层中以接触所述感测电极图案。
2.根据权利要求1所述的传感器,其中所述绝缘层包括多个堆叠式陶瓷板。
3.根据权利要求2所述的传感器,还包括第一暴露电极及第二暴露电极,所述第一暴露电极及所述第二暴露电极经形成为在所述绝缘层中的预定区处暴露于外部且经配置以向所述加热器及所述感测电极中的每一个供电。
4.根据权利要求3所述的传感器,其中所述至少两个加热器图案分别形成于至少两个陶瓷板的项部分上且经由具有埋入其中的导电材料的孔而得以连接。
5.根据权利要求4所述的传感器,其中所述至少两个感测电极图案分别形成于至少两个陶瓷板上且经由具有埋入其中的导电材料的孔而得以连接。
6.根据权利要求5所述的传感器,其中所述至少两个感测电极图案包括彼此分离的施加正电力的感测电极图案及施加负电力的感测电极图案。
7.根据权利要求5所述的传感器,其中所述感测电极图案包括至少一个切口部分。
8.根据权利要求5所述的传感器,其中所述热图案及所述感测电极图案形成于不同陶瓷板上以在所述陶瓷板的堆叠方向上交替地安置。
9.根据权利要求8所述的传感器,其中所述感测电极图案经形成以具有从底面朝项面而逐渐更宽的直径。
10.根据权利要求9所述的传感器,其中开口形成于所述至少两个陶瓷板中的所述加热器图案及所述感测电极图案的内部中且埋入有所述导电材料。
11.根据权利要求10所述的传感器,其中所述开口经形成以暴露在其下的所述感测电极图案。
12.根据权利要求1所述的传感器,还包括安置于所述绝缘层的顶部分上以覆盖所述感测材料的顶盖,
其中所述项盖由至少两个堆叠式陶瓷板或金属或塑胶形成,且包括至少一个开口或网状物。
13.根据权利要求12所述的传感器,其中所述项盖的所述开口大于所述绝缘层的所述开口。
14.根据权利要求3或12所述的传感器,还包括安置于所述绝缘层的底部分上的散热片,
其中所述散热片由至少两个堆叠式陶瓷板形成,且所述至少一个陶瓷板包括开口。
15.根据权利要求14所述的传感器,还包括形成于所述散热片的预定区上的第三暴露电极,所述预定区与所述第一暴露电极及所述第二暴露电极对应。
16.根据权利要求14所述的传感器,还包括安置于所述散热片的底部分上的底盖。
17.一种传感器,包括:多个单元传感器,所述多个单元传感器各自包括在垂直方向上形成于绝缘层中的加热器、感测电极及感测材料以感测至少一种气体,其中所述加热器、所述感测电极及所述感测材料以多个的方式安置于水平方向上且感测多个不同个体,
其中所述加热器在所述垂直方向上在所述绝缘层中被分离且彼此电连接,所述感测电极与所述加热器隔绝且在所述绝缘层中垂直地分离以彼此电连接,且所述感测材料的至少一部分埋入所述绝缘层中以接触所述感测电极。
18.根据权利要求17所述的传感器,其中布置于所述水平方向上的所述多个加热器在至少两种温度下加热。
19.根据权利要求18所述的传感器,其中所述多个感测电极分别包括至少一个切口部分。
20.根据权利要求19所述的传感器,其中所述多种感测材料由至少两种材料形成。
21.根据权利要求17所述的传感器,还包括:
项盖,其安置于所述绝缘层的项部分上以覆盖所述感测材料;
散热片,其安置于所述绝缘层的底部分上;以及
底盖,其安置于所述散热片的底部分上。
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