[发明专利]具有周期性碳掺杂的氮化镓的高电子迁移率晶体管在审
| 申请号： | 201510155907.X | 申请日： | 2015-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN106158946A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | J·C·拉默;K·克尼里姆 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 周期性 掺杂 氮化 电子 迁移率 晶体管 | ||
【说明书】：
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