[发明专利]激光气体估计装置

权利要求书

1.一种激光气体估计装置，估计以二氧化碳气体、氮气以及氦气中的多个为主成分的激光气体的组成比，该激光气体估计装置的特征在于，具备：

激光振荡器，上述激光气体被封入在该激光振荡器中，该激光振荡器具有使上述激光气体循环的送风机、放电管、对上述送风机供给电力的送风机电源部以及对上述放电管供给电力的放电管电源部；

检测部，其检测被封入在上述激光振荡器内的激光气体的气压、施加到上述送风机的送风机电压、供给到上述送风机的送风机电流、施加到上述放电管的放电管电压以及供给到上述放电管的放电管电流中的至少一个；以及

组成比估计部，其基于由上述检测部检测出的检测值估计激光气体的组成比，

其中，施加到上述送风机的送风机电压、供给到上述送风机的送风机电流、施加到上述放电管的放电管电压以及供给到上述放电管的放电管电流是激光气体的气压的函数，

上述组成比估计部使用以激光气体的组成比为参数的、参数的合计值为100％的方程式以及如下四个方程式中的至少一个方程式，来运算与上述检测值对应的组成比，其中上述四个方程式均以激光气体的组成比为参数，并且分别为：与各气体成分对应的送风机电压与施加到上述送风机的送风机电压的关系的方程式、与各气体成分对应的送风机电流与供给到上述送风机的送风机电流的关系的方程式、进行放电的期间内的与各气体成分对应的放电管电压与施加到上述放电管的放电管电压的关系的方程式以及进行放电的期间内的与各气体成分对应的放电管电流与供给到上述放电管的放电管电流的关系的方程式。

2.根据权利要求1所述的激光气体估计装置，其特征在于，还具备：

设定部，其根据由上述组成比估计部估计出的激光气体的组成比，设定能够使上述激光振荡器动作的激光气体的目标气压以及与上述激光振荡器的输出指令对应的目标放电管电流；以及

激光振荡器控制部，其根据由上述设定部设定的上述目标气压和上述目标放电管电流，控制上述送风机电源部和上述放电管电源部。

3.根据权利要求1或2所述的激光气体估计装置，其特征在于，还具备：

二氧化碳气体供给路径，其向上述激光振荡器供给二氧化碳气体；

氮气供给路径，其向上述激光振荡器供给氮气；

氦气供给路径，其向上述激光振荡器供给氦气；

二氧化碳气体调整部，其对经由上述二氧化碳气体供给路径供给的二氧化碳气体的供给量进行调整；

氮气调整部，其对经由上述氮气供给路径供给的氮气的供给量进行调整；

氦气调整部，其对经由上述氦气供给路径供给的氦气的供给量进行调整；以及

流量控制部，其根据由上述组成比估计部估计出的组成比，控制上述二氧化碳气体调整部、上述氮气调整部以及上述氦气调整部，使得上述激光振荡器内的激光气体的组成比成为规定的组成比。

4.根据权利要求3所述的激光气体估计装置，其特征在于，

还具备指示激光气体的目标组成比的指令部，

上述流量控制部根据由上述组成比估计部估计出的组成比来控制上述二氧化碳气体调整部、上述氮气调整部以及上述氦气调整部，使得上述激光振荡器内的激光气体的组成比成为由上述指令部指示的目标组成比。