[发明专利]外延片生产设备

权利要求书

1.外延片生产设备，其特征在于，包括反应腔室以及加热装置，所述的反应腔室具有进气口和出气口，所述的反应腔室内设有托盘，所述的反应腔室内还安装有吸热装置，所述的吸热装置位于托盘与出气口之间，所述的加热装置用于加热反应腔室。

2.根据权利要求1所述的外延片生产设备，其特征在于，所述的吸热装置包括吸热板，所述的吸热板位于反应腔室内上半部。

3.根据权利要求1或2所述的外延片生产设备，其特征在于，所述的出气口位于反应腔室上半部。

4.根据权利要求2所述的外延片生产设备，其特征在于，所述的吸热板采用吸热材料制成。

5.根据权利要求2所述的外延片生产设备，其特征在于，所述的吸热板采用陶瓷材料制成，陶瓷层外镀有碳化硅层。

6.根据权利要求2所述的外延片生产设备，其特征在于，所述的吸热装置还包括支撑架，所述的支撑架用于将吸热板支撑在反应腔室内。

7.根据权利要求6所述的外延片生产设备，其特征在于，所述的支撑架上设有至少三根用于将吸热板支撑的支撑柱。

8.根据权利要求6或7所述的外延片生产设备，其特征在于，所述的支撑架上设有手柄，所述的手柄用于拿取支撑架。

9.根据权利要求1所述的外延片生产设备，其特征在于，所述的加热装置包括位于反应腔室上端和下端的发热板，所述的发热板上安装有若干发热管，所述的发热管正对反应腔室。