[发明专利]一种自行式平面三自由度压电驱动平台

权利要求书

1.一种自行式平面三自由度压电驱动平台，其特征在于：包括驱动元件、动平台（8）以及静平台（7）；所述驱动元件包括若干个直线运动压电驱动器（9），直线运动压电驱动器（9）放置在静平台（7）上，且所述直线运动压电驱动器（9）成对对称设置；所述动平台（8）固定连接在直线运动压电驱动器（9）的中间位置，静平台（7）依据驱动器的性能参数制定，作为直线运动压驱动器（9）的工作平面。

2.根据权利要求1所述的一种自行式平面三自由度压电驱动平台，其特征在于：每个直线运动压电驱动器（9）在其中心处均设有通孔，所述动平台（8）为带侧面且侧面中心设置有螺纹孔的平板，直线运动压电驱动器（9通过连接螺栓（10）连接在动平台（8）的侧面。

3.根据权利要求2所述的一种自行式平面三自由度压电驱动平台，其特征在于：所述驱动元件包括四个直线运动压电驱动器（9），所述动平台（8）为矩形带侧面的平板，每个侧面上对应设有一个直线运动压电驱动器（9），直线运动压电驱动器（9）两两对称。

4.根据权利要求1至3所述的任意一种自行式平面三自由度压电驱动平台，其特征在于：所述直线运动压电驱动器（9）包括弹性元件（1）、导向棒（2）、压电叠堆（5）、预紧楔块、预紧螺栓（6）；

所述弹性元件（1）包括一根水平梁，该水平梁连接五根齿柱，其中，有两根齿柱位于水平梁的上侧，三根齿柱位于水平梁下侧作为该直线运动压电驱动器（9）的运动足作用在静平台（7）上；

每两根齿柱与水平梁形成一个空槽，该空槽中设置压电叠堆（5）、预紧装置及导向棒（2）；所述压电叠堆（5）设置在两组预紧装置之间；

所述预紧装置包括两组相向设置的预紧楔块，每组预紧楔块包括通过预紧螺栓（6）连接的上楔块和下楔块，通过所述预紧螺栓（6）调节施加在压电叠堆（5）上的预紧力；两组预紧楔块相对的面上设有矩形槽，用于夹装压电叠堆（5），上、下楔块间通过斜面配合；

在所述预紧装置和弹性元件（1）接触面的对应位置开有凹槽，所述导向棒（2）装配在凹槽中，在预紧时自动调整接触面的角度，避免在驱动过程中因两接触面不平行而产生剪切力破坏压电叠堆（5）。