[发明专利]一种纳米铂包覆金颗粒膜复合材料的制备方法

权利要求书

1.一种纳米铂包覆金颗粒膜复合材料的制备方法，其特征在于：首先在聚酰亚胺基体表面制备金-钼合金膜，并使基体保持在200℃～330℃的温度以促使金原子在薄膜表面生长为金颗粒，然后在制备的金-钼合金膜表面沉积铂薄膜即制得产品；所述在聚酰亚胺基体表面制备金-钼合金膜的步骤如下：

1）将柔性聚酰亚胺基体清洗干净后置于磁控溅射镀膜机基片台上；

2）在镀膜机的靶位上分别放置好Au靶和Mo靶，然后关闭真空室、开启机械泵和分子泵对真空室抽真空，使真空度达到0.0001-0.0005Pa，而后再对基片台进行加热，加热温度200℃～330℃；

3）向真空室通入高纯氩气使真空室内的气压为0.2-0.8Pa，然后同时接通Au靶和Mo靶的电源在聚酰亚胺基体上共溅射沉积Au-Mo合金薄膜，且Au-Mo合金薄膜中Au的含量为5-30at%，厚度为5-100nm；

4）Au-Mo合金薄膜沉积完成后，继续对基片台保温30-100min，以使Au-Mo合金薄膜中的Au原子在薄膜表面析出、形核、生长成为不同尺度的Au颗粒；

所述在金-钼合金膜表面沉积铂薄膜的操作为：在镀膜机的靶位上放置好Pt靶，当真空室真空度达到0.0001-0.0005Pa后，向真空室通入高纯氩气使真空室内的气压达到0.2-0.8Pa，然后接通Pt靶电源开始在金-钼合金膜表面上沉积铂薄膜，通过控制溅射功率和时间，以使沉积的Pt薄膜厚度为5-50nm。