[发明专利]基于双模正方形微腔激光器的可调谐光频梳有效
申请号: | 201510166090.6 | 申请日: | 2015-04-09 |
公开(公告)号: | CN104765217B | 公开(公告)日: | 2017-11-17 |
发明(设计)人: | 龙衡;黄永箴;马秀雯;邹灵秀;肖金龙;杨跃德 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02F1/365 | 分类号: | G02F1/365;G02F1/35 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 双模 正方形 激光器 调谐 光频梳 | ||
1.一种基于双模正方形微腔激光器的可调谐光频梳,包括:
双模正方形微腔激光器(1),用于产生间距可调的双模激射;
光纤放大器(2),其输入端与双模正方形微腔激光器(1)输出端相连,用于将光信号放大;
高非线性光纤(3),与光纤放大器(2)输出端相连,利用其级联四波混频效应展宽获得可调谐光频梳,其特征在于:
所述的双模正方形微腔激光器(1)包括:
衬底(11);
正方形微腔(12);
输出波导(13),与正方形微腔(12)直接相连或者通过消逝波侧向耦合输出光;
电注入窗口(14),形成于正方形微腔(12)顶部,非注入区域由介质层(15)覆盖,其中电注入窗口(14)的形状被设置为从该电注入窗口(14)注入电流会产生不均匀的载流子分布或者温度分布;
p型和n型电极。
2.根据权利要求1所述的基于双模正方形微腔激光器的可调谐光频梳,其中双模正方形微腔激光器(1)的正方形微腔(12)和输出波导(13)都包括:下限制层(121)、有源层(122)和上限制层(123),下限制层(121)和上限制层(123)的材料为InP、AlAs、AlGaN或GaN,有源层(122)材料为InGaAs、InGaAsP或AlGaInAs;下限制层(121)生长或者键合在衬底(11)上,有源层(122)生长在下限制层(121)上。
3.根据权利要求1所述的基于双模正方形微腔激光器的可调谐光频梳,其中所述介质层(15)的材料是二氧化硅或者氮化硅。
4.根据权利要求1所述的基于双模正方形微腔激光器的可调谐光频梳,其中所述衬底(11)的材料是IV族半导体材料及其化合物、III-V、II-VI、IV-VI族化合物、有机半导体材料或蓝宝石。
5.根据权利要求1所述的基于双模正方形微腔激光器的可调谐光频梳,其中所述正方形微腔(12)边长a介于5~100μm之间,输出波导(13)宽度wg介于0~a/5之间,可通过改变正方形微腔(12)边长来改变双模间距,从而控制双模工作范围。
6.根据权利要求2所述的基于双模正方形微腔激光器的可调谐光频梳,其中所述电注入窗口(14)为方环形或者圆环形,也可以用该类形状的电极替代。
7.根据权利要求1所述的基于双模正方形微腔激光器的可调谐光频梳,其中所述双模正方形微腔激光器(1)的输出光在进入高非线性光纤(3)之前,经过一级或者多级光纤放大器(2)放大光功率。
8.根据权利要求1所述的一种基于双模正方形微腔激光器的可调谐光频梳,其中所述双模正方形微腔激光器(1)的输出光在进入高非线性光纤(3)之前,采用光滤波器滤去其它模式及噪声。
9.根据权利要求1至8任一项所述的基于双模正方形微腔激光器的可调谐光频梳,其中所述双模正方形微腔激光器(1)是用于产生可调谐微波信号。
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