[发明专利]具有压电系数d36的压电陶瓷及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201510169643.3 申请日: 2015-04-10
公开(公告)号: CN104810472B 公开(公告)日: 2017-06-06
发明(设计)人: 李法新;苗鸿臣 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: H01L41/187 分类号: H01L41/187;H01L41/333;H01L41/338;C04B35/491
代理公司: 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙)11360 代理人: 李稚婷
地址: 100871*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 具有 压电 系数 sub 36 陶瓷 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种压电陶瓷,具有不为0的压电系数d36,即沿着与极化方向平行的方向施加电场E3,该压电陶瓷会在与极化方向垂直的面内产生剪切应变S6;或者,对与极化方向垂直的面施加剪切应力T6,该压电陶瓷会在与极化方向垂直的电极面产生电位移D3

2.权利要求1所述压电陶瓷的制备方法,包括以下步骤:

1)将极化好的压电陶瓷材料切成a×b×c的长方体,其中棱边c为极化方向,b×c面为压缩面;

2)对步骤1)得到的长方体压电陶瓷进行均匀压缩,压缩应力T垂直施加在两个相对的b×c面上,从零开始准静态地加载到压电陶瓷矫顽应力的2~4倍,保持20~60小时,再缓慢卸载到零,然后将压缩后的压电陶瓷在室温下老化2~3天;

3)将步骤2)压缩好的压电陶瓷进行切割,根据IEEE的标准,切割方式表示为zxt±45°,其中z为压电陶瓷的厚度方向,即极化方向,x为棱边a的方向,t为旋转轴,旋转轴与极化方向平行,从而获得在其自身坐标系下具有压电系数d36的压电陶瓷。

3.如权利要求2所述的制备方法,其特征在于,步骤1)所述长方体的各边长度比为a:b:c=1:1:1。

4.如权利要求2所述的制备方法,其特征在于,步骤1)所述极化好的压电陶瓷是软性压电陶瓷或其它铁电型压电陶瓷。

5.如权利要求4所述的制备方法,其特征在于,步骤1)所述极化好的压电陶瓷是PZT-5A、PZT-5H或PZT-8压电陶瓷。

6.如权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述步骤2)压缩应力T的加载速率和卸载速率是0.1~2MPa/s。

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