[发明专利]图案形成方法、硬化物、触摸屏或显示屏的制造方法以及显示装置

权利要求书

1.一种图案形成方法，其特征在于包括：

将感光性树脂组合物涂布在基板上的涂布工序、

从所涂布的感光性树脂组合物中除去溶剂的溶剂除去工序、

使用掩模利用活性辐射线进行曝光的曝光工序、及

利用水性显影液进行显影的显影工序，并且

所述曝光工序中所用的掩模，沿着第一遮光部图案的外边而平行地设置第二遮光部图案，

所述第二遮光部图案将所述第一遮光部图案包围一周，

所述第一遮光部图案的外边与所述第二遮光部图案的内边的距离A、与所述第二遮光部图案的内边与外边的宽度B的关系满足下述式I，且

所述第二遮光部图案的内边与外边的宽度B为1μm～10μm，

0.5≤B/A≤0.75   式I。

2.一种图案形成方法，其特征在于包括：

将感光性树脂组合物涂布在基板上的涂布工序、

从所涂布的感光性树脂组合物中除去溶剂的溶剂除去工序、

使用掩模利用活性辐射线进行曝光的曝光工序、及

利用水性显影液进行显影的显影工序，并且

所述曝光工序中所用的掩模，沿着第一透光部图案的外边而平行地设置第二透光部图案，

所述第二透光部图案将所述第一透光部图案包围一周，

所述第一透光部图案的外边与所述第二透光部图案的内边的距离A、和所述第二透光部图案的内边与外边的宽度B的关系满足下述式I，且

所述第二透光部图案的内边与外边的宽度B为1μm～10μm，

0.5≤B/A≤0.75   式I。

3.根据权利要求1或2所述的图案形成方法，其中在所述曝光工序中，使用非接触式的曝光方法。

4.根据权利要求1或2所述的图案形成方法，其中在所述曝光工序中，所述感光性树脂组合物的涂布面与掩模的距离为10μm以上且500μm以下。

5.根据权利要求1或2所述的图案形成方法，其中所述感光性树脂组合物含有粒子。

6.根据权利要求5所述的图案形成方法，其中相对于感光性树脂组合物的总固体成分，所述粒子的含有率为30质量％以上。

7.根据权利要求1或2所述的图案形成方法，其特征在于：第一遮光部图案或第一透光部图案的一边的长度为10μm～500μm。

8.一种硬化物，其是通过根据权利要求1或2所述的图案形成方法而获得。

9.根据权利要求8所述的硬化物，其为层间绝缘膜。

10.一种触摸屏的制造方法，其使用根据权利要求1或2所述的图案形成方法。

11.一种显示屏的制造方法，其使用根据权利要求1或2所述的图案形成方法。

12.一种显示装置，其具备通过根据权利要求10所述的触摸屏的制造方法所制造的触摸屏或通过根据权利要求11所述的显示屏的制造方法所制造的显示屏。