[发明专利]底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池

权利要求书

1.一种底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，包括：

金属电极；

硅基薄膜，形成在所述金属电极表面；

周期性金属纳米颗粒，形成在所述金属电极和硅基薄膜的交界面。

2.如权利要求1所述的底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述硅基薄膜的材料为单晶Si。

3.如权利要求1所述的底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述硅基薄膜的厚度为100nm～500nm。

4.如权利要求1所述的底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述金属电极的材料为Cu、Ag或Au。

5.如权利要求1所述的底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述周期性金属纳米颗粒的周期为正方形。

6.如权利要求1所述的底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述周期性金属纳米颗粒的周期长度为200nm～400nm。

7.如权利要求1所述的底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述周期性金属纳米颗粒的材料为Cu、Ag或Au。

8.如权利要求1所述的底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述周期性金属纳米颗粒的形状为圆柱体、半球体或圆球体。

9.如权利要求1所述的底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述周期性金属纳米颗粒的直径为80nm～300nm。

10.如权利要求1所述的底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述周期性金属纳米颗粒的高度为20nm～60nm。

11.如权利要求1至10任一项所述的底部具有金属纳米颗粒结构的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述周期性金属纳米颗粒和硅基薄膜的形成方法为磁控溅射沉积方式。