[发明专利]带电粒子线装置

权利要求书

1.一种带电粒子线装置，其包括将从带电粒子源放出的一次带电粒子线向试料上扫描的带电粒子光学系统；收纳该带电粒子光学系统的带电粒子光学镜筒；检测由所述扫描得到的反射电子或者二次电子的检测器；至少一个以上的排气泵，其特征在于，

该带电粒子线装置具备：

使所述一次带电粒子线透射或者通过的薄膜以及保持该薄膜的薄膜支承部件；

收纳所述试料，且利用设于侧面的开口部至少在所述试料的观察中处于内部向大气开放的状态的第2箱体；以及

以支承所述带电粒子光学镜筒的方式与所述带电粒子光学镜筒相接合、且内部被真空排气的第1箱体；

所述薄膜支承部件安装在所述第1箱体的与所述带电粒子光学镜筒的端部对置的位置，

所述检测器对通过相对于收纳在所述第2箱体内的试料经由所述薄膜扫描所述一次带电粒子线而得到的二次电子或者反射电子中的、通过所述薄膜而到达该薄膜的上方的二次电子或者反射电子进行检测。

2.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述第2箱体的内部、即收纳有所述试料的第一空间包括透射或者通过所述薄膜之后的所述一次带电粒子线的轨道，

所述第1箱体的内部、即第二空间包括透射或者通过所述薄膜之前的所述一次带电粒子线的轨道。

3.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述试料从设于所述第2箱体的侧面的开口部向所述第2箱体的内部导入。

4.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述带电粒子线装置具备向所述第2箱体内供给气体的气体喷嘴，通过该气体喷嘴向透射或者通过了所述薄膜的所述一次带电粒子线的通过路径供给质量比大气轻的气体。

5.根据权利要求4所述的带电粒子线装置，其特征在于，

来自所述气体喷嘴的放出气体包括氢气、氦气、甲烷气体、水蒸气之中的任一种。

6.根据权利要求4所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述气体喷嘴安装在所述薄膜支承部件上。

7.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述薄膜支承部件在固定有所述薄膜的状态下在该带电粒子装置上装卸。

8.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述带电粒子线装置具备对所述薄膜与所述试料的距离进行测量的测量机构。

9.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

在所述第2箱体内具备：载置所述试料的试料台；使该试料台向Z方向移动的Z台。

10.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述薄膜或薄膜支承部件具备对所述试料与所述薄膜的距离进行限制的限制部件。

11.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

在所述第1箱体内，具备对通过所述一次带电粒子线的照射而从所述试料放出的X线进行检测的第2检测器。

12.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

所述薄膜的厚度为20μm以下。

13.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

在所述第2箱体内具备载置所述试料的试料台，

所述试料台能够与所述薄膜独立地移动。