[发明专利]低频振动液膜电化学刻蚀大长径比纳米探针工艺

权利要求书

1.一种低频振动液膜电化学刻蚀大长径比纳米探针工艺，包括以下步骤，步骤1、将微米级钨棒（6）安装在夹头（3）中； 步骤２、用滴管将碱性电解液滴在金属圆环（5）上形成液膜（7）；其中液膜（7）的厚度通过控制所滴于金属圆环（5）电解液的体积进行调节；步骤3、使微米级钨棒（6）穿过金属圆环（5）的中心，并使探针接收容器（4）处于微米级钨棒（6）的正下方；其特征在于：步骤4、直流电源（9）的正负极分别与微米级钨棒（6）和金属圆环（5）连接，接通电源并使金属圆环（5）做低频往复振动，带动液膜（7）做低频上下往复振动，其中频率：5~100Hz，幅值：0.05~0.15mm。

2. 根据权利要求1所述的低频振动液膜电化学刻蚀大长径比纳米探针工艺，其特征在于：上述其中所述微米级钨棒（6）直径为0.2~0.5mm，金属圆环（5）的直径为6~10mm；液膜厚度为2~5mm；使微米级钨棒（6）穿过金属圆环（5）的中心，并使金属圆环（5）下部的下端钨棒（10）长度为10~20mm，设定直流电源（9）电压为3~5V。