[发明专利]芯片及其制作方法有效
| 申请号： | 201510174058.2 | 申请日： | 2015-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN106158795B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 方三军;陈思安;朱瑜杰;徐萍 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/48 | 分类号： | H01L23/48;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 芯片 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】：
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