[发明专利]一种太阳能用耐高温低发射膜层及制作方法

权利要求书

1.一种太阳能用耐高温低发射膜层，它包括基体、粘结层、金属层、高吸收层、低吸收层及减反层，粘结层均匀的覆盖在基体上，金属层均匀的覆盖在粘结层上，高吸收层均匀的覆盖在金属层上，低吸收层均匀的覆盖在高吸收层上，减反层均匀的覆盖在低吸收层上，基体为耐高温金属基体，粘结层为陶瓷层，所述金属层为铜金属层，高吸收层为氮化铝与镍混合机膜层，低吸收层为氮化铝与镍混合机膜层，减反层为氮化铝膜层，其特征在于：所述太阳能用耐高温低发射膜层的生产方法包括以下步骤：

A．对耐高温金属基体进行抛光处理：用抛光机进行抛光处理，去除表面凹坑及划伤，粗糙度达到镜面；

B．对耐高温金属基体进行清洁处理：利用超声波清洗机，加入去离子水进行超声波清洗，去除表面油污及附着在表面的灰尘；

C．对耐高温金属基体进行去水：利用无水乙醇擦拭不锈钢基体表面，快速去除表面残留水；

D．对耐高温金属基体进行氧化处理：将去水后的不锈钢基体放入烘干箱，并在400 摄氏度下保温2～3 小时，使耐高温金属基体表面生成一层微金黄色的氧化层；

E．对耐高温金属基体进行镀膜：将烘干好的耐高温金属基体放入磁控溅射镀膜机内；将磁控溅射镀膜机的镀膜室真空度抽至4.0×10^-3pa；

F．镀粘结层；真空度稳定后，冲入氩气和氮气让压强保持在2.0-1pa，转架转速每分钟2.5转，起铝靶，开中频电源，在恒流模式下电流为40A，时间1分钟；

G．镀金属层：镀膜室充入氩气，起铜靶，开直流电源，电流39 ～ 42A，时间8min，压强2.0 -1pa，转架转速2.5 分钟一转；

H．镀高吸收层：将氩气和氮气充入镀膜室内，使镀膜室压强保持在4.0-1pa ，起铝靶，起镍靶，起中频电源，起直流电源，铝靶电流40A，镍靶电流在18 ～21A，时间5min，转架转速一分钟2.5转；

I．镀低吸收层：将氩气和氮气充入镀膜室内，使镀膜室压强保持在4.0-1pa ，起铝靶，起镍靶，起中频电源，起直流电源，铝靶电流40A，镍靶电流在8 ～10A，时间7min，转架转速一分钟2.5转；

J．镀减反层：将氩气和氮气充入镀膜室内，使镀膜室压强保持在4.0-1pa ，起铝靶，起中频电源，铝靶电流40A，时间为12 ～14min。