[发明专利]匹配器损耗功率的计算方法及装置有效
| 申请号： | 201510175414.2 | 申请日： | 2015-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN104793048B | 公开（公告）日： | 2018-01-16 |
| 发明（设计）人： | 郭晓觅;蒲以康;罗伟义 | 申请（专利权）人： | 清华大学;中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R21/02 | 分类号： | G01R21/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 配器 损耗 功率 计算方法 装置 | ||
1.一种匹配器损耗功率的计算方法，其特征在于，包括以下步骤：
当负载设备工作时，通过与所述匹配器相连的光纤温度传感器检测所述匹配器内电感线圈的实时温度和/或实时环境温度，其中，所述负载设备通过所述匹配器与射频电源相连；
在负载设备所处的环境温度和风冷速度不变时，从预存的功率-温度关系表中查询与检测到的所述匹配器内电感线圈的实时温度和/或实时环境温度对应的实时功率值，其中，所述功率-温度关系表通过试验方式得到，具体包括：向匹配器输入直流电源，调整所述直流电源的输出功率，测量每个输出功率下所述匹配器内电感线圈的温度和/或环境温度，根据每个输出功率和每个输出功率下所述匹配器内电感线圈的温度和/或环境温度建立所述功率-温度关系表；
将所述实时功率值作为所述匹配器实时的损耗功率。
2.根据权利要求1所述的匹配器损耗功率的计算方法，其特征在于，所述负载设备为半导体材料的刻蚀机和等离子体增强化学气相沉积设备。
3.一种匹配器损耗功率的计算装置，其特征在于，包括：
匹配器；
射频电源；
负载设备，所述负载设备通过所述匹配器与所述射频电源相连；
光纤温度传感器，所述光纤温度传感器与所述匹配器相连，以在所述负载设备工作时，检测所述匹配器内电感线圈的实时温度和/或实时环境温度；
处理器，所述处理器与所述光纤温度传感器相连，用于在负载设备所处的环境温度和风冷速度不变时，从预存的功率-温度关系表中查询与检测到的所述匹配器内电感线圈的实时温度和/或实时环境温度对应的实时功率值，以及将所述实时功率值作为所述匹配器实时的损耗功率，其中，所述功率-温度关系表通过试验方式得到，具体包括：向匹配器输入直流电源，调整所述直流电源的输出功率，测量每个输出功率下所述匹配器内电感线圈的温度和/或环境温度，根据每个输出功率和每个输出功率下所述匹配器内电感线圈的温度和/或环境温度建立所述功率-温度关系表。
4.根据权利要求3所述的匹配器损耗功率的计算装置，其特征在于，所述负载设备为半导体材料的刻蚀机和等离子体增强化学气相沉积设备。
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