[发明专利]微镜阵列可编程菲涅尔波带片

权利要求书

1.微镜阵列可编程菲涅尔波带片其特征在于：包括硅衬底以及设置于硅衬底上的支撑柱、支撑层、上下电极、压电层、微镜镜面、电极地址控制驱动电路；所述微镜镜面通过中心的锚点支撑于上电极上方，上下电极与电极地址控制驱动电路相连以驱动电极中间夹住的压电层带动微镜镜面偏转，支撑柱和支撑层用来固定和支撑电极层并形成可变形的悬臂梁结构,所述电极地址控制驱动电路，按照事先计算好的电极地址选择施加电压的微镜单元构成不同参数的圆环菲涅尔波带片图形，每一个菲涅耳波带圆环由一定数量连续的微镜单元组成。

2.微镜阵列可编程菲涅尔波带片其特征在于：包括硅衬底以及设置于硅衬底上的支撑柱、支撑层、上下电极、压电层、微镜镜面、电极地址控制驱动电路；所述微镜镜面通过中心的锚点支撑于上电极上方，上下电极与电极地址控制驱动电路相连以驱动电极中间夹住的压电层带动微镜镜面偏转，支撑柱和支撑层用来固定和支撑电极层并形成可变形的悬臂梁结构,所述电极地址控制驱动电路，按照事先计算好的电极地址选择施加电压的微镜单元构成不同参数的直边菲涅尔波带片图形，每一个直边菲涅耳波带条由一定数量连续的微镜单元组成。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的微镜阵列可编程菲涅尔波带片，其特征在于：所述的微镜上下电极之间可以施加控制电压，无电压的时候微镜镜面不偏转，施加电压可以使微镜镜面偏转。

4.根据权利要求1至2中任一项所述的微镜阵列可编程菲涅尔波带片，其特征在于：所述的菲涅尔波带片的子波带由微镜阵列单元可以再细分为更小的波带区域，其细分组数由微镜的尺寸确定，每一组电极都固定连接在一起，当电极地址控制驱动电路选择不同的分组策略时，使波带片按照不同的参数变化而调节焦距。

5.根据权利要求1至2中任一项所述的微镜阵列可编程菲涅尔波带片，其特征在于：所述组成菲涅尔波带片的子波带的微镜阵列单元的微镜镜面形状和大小可以根据子波带的几何特征确定。