[发明专利]一种锰锑酸铅掺杂的铌镍‑锆钛酸铅压电陶瓷有效

专利信息
申请号: 201510179552.8 申请日: 2015-04-16
公开(公告)号: CN104844202B 公开(公告)日: 2017-03-29
发明(设计)人: 周佳骏;张颖;李海龙;刘红;方敬忠 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: H01L41/187 分类号: H01L41/187;C04B35/49;C04B35/622
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 锰锑酸铅 掺杂 锆钛酸铅 压电 陶瓷
【说明书】:

技术领域

本发明涉及一种用于电子元器件行业的压电陶瓷材料,特别是涉及铌镍-锆钛酸铅基压电陶瓷及其制备方法。

背景技术

压电陶瓷是一类极其重要的电子功能材料,广泛应用于微位移驱动器、压电传感器、超声换能器、电容器、滤波器等方面。压电陶瓷的性能优劣直接影响到器件的性能,因此关于原材料的性能研究非常重要。

上世纪40年代人们在研究高介电钛酸盐时发现了钛酸钡陶瓷(BaTiO3)。作为一种多晶材料,它在经过电场处理后具有很大的压电常数,钛酸钡是最早发现的压电陶瓷材料,也是最先用作压电变压器的单元系压电陶瓷材料。但是,BaTiO3较低的居里温度(TC=120℃)限制了其使用的温度范围,因此人们依旧在寻找性能更优异的压电陶瓷。1955年,B.Jaffe等发现了一种二元组分的压电陶瓷材料钛锆酸铅(Pb(Zr,Ti)O3,PZT),这种材料的压电性能更为优越。PZT是由铁电相PbTiO3和反铁电相PbZrO3构成的连续固溶体,其结构同BaTiO3一样,均为ABO3钙钛矿型。对PZT的研究主要集中在Zr/Ti比为0.48~0.52的组分范围内,在该范围内存在着一条准同型相界(Morphotropic Phase Boundary,MPB),组分落在MPB上的陶瓷显示出优异的压电性能。以PZT为基础,可以向其中加入复合钙钛矿型化合物形成3元乃至4元体系压电陶瓷。1965年,日本学者Hiromu Ouchi等通过在PZT中添加第三种组分铌镁酸铅Pb(Mg1/3Nb2/3)O3,研制成第一种商用三元系压电陶瓷材料(PMN-PZT)。三元系压电陶瓷的烧结过程易控制,压电和介电性能相比于二元系PZT更加优异,在电子元器件领域得到了广泛的应用。常用的三元系压电陶瓷有PMN-PZT(铌镁-锆钛酸铅)、PNN-PZT(铌镍-锆钛酸铅)、PZN-PZT(铌锌-锆钛酸铅)等。

铌镍-锆钛酸铅压电陶瓷(PNN-PZT)是弛豫铁电体铌镍酸铅(PNN)与铁电陶瓷锆钛酸铅(PZT)所组成的固溶体。该体系压电陶瓷最早由E.A.Buyanova等在1965年报道,具有较高的压电系数(d33)、介电系数(εr)、机电耦合系数(kp)和宽的相变区域,在压电驱动器、换能器等领域有着非常广泛的用途。但是该类陶瓷也存在的不少缺点,比如力学性能较差,机械加工性能有待提高,压电系数(场致应变性能)需要进一步优化,合成过程中不易得到纯相,容易产生焦绿石相等问题。

专利申请号为95119626.X的“压电陶瓷组成物”的专利申请,公开了一种基于A位取代的PNN-PZT压电陶瓷,具有高的机电耦合系数和令人满意的机械强度,适合应用于蜂鸣片中。但是该专利分析的材料性能参数有限,只包括了三点弯曲强度和机电耦合系数(kp),无法适合于该类陶瓷在其它场合的应用例如:微位移驱动器,传感器等。

发明内容

本发明的目的是提供一种具有高压电系数和良好力学性能的铌镍-锆钛酸铅基压电陶瓷(PNN-PZT),适合于微位移驱动器、传感器、蜂鸣片等器件的应用。

本发明采用的技术方案为:本发明提供一种锰锑酸铅(PMS)掺杂的铌镍-锆钛酸铅压电陶瓷(PNN-PZT),其化学组成为:(1-x)Pb(Ni1/3Nb2/3)0.5ZryTi0.5-yO3-xPbMn1/3Sb2/3O3,式中,x、y为摩尔含量,数值分别为x=0.0-0.06,y=0.10-0.20。

作为优选方案,本发明提供的锰锑酸铅掺杂铌镍-锆钛酸铅压电陶瓷,其组成为(1-x)Pb(Ni1/3Nb2/3)0.5Zr0.14Ti0.36O3-xPbMn1/3Sb2/3O3,其中x=0.0-0.04。

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