[发明专利]光照射装置及长弧型放电灯

说明书

技术领域

本发明涉及具有紫外线光源的光照射装置以及该光照射装置所使用的长弧型放电灯。

背景技术

以往，在印刷业和电子工业领域中，使用金属卤化物灯等长弧型放电灯作为在油墨和涂料的干燥、树脂的硬化处理中使用的光化学反应用装置的紫外线光源，或者作为对半导体基板和液晶显示器用的液晶基板进行曝光时使用的曝光装置的紫外线光源。

使用这样的长弧型放电灯的光照射装置的结构例如已在日本特开2008－130302号公报(专利文献1)中公开，其结构如图5所示。

光照射装置20在壳体21内配置有长弧型放电灯1，还设置有围绕该放电灯1的水槽状的反射镜22，在壳体21的内表面形成有由电介体多层膜等构成的反射面23。

所述反射镜22的顶部开口22a与形成于壳体21的冷却风排气口24对应配置。并且，该反射镜22形成为能够开闭，在对处理物照射紫外线的正常点亮模式时，其前表面开口22b敞开，在更换处理物等的待机点亮模式时，反射镜22转动，前表面开口22b封闭。另外，在该待机点亮模式中，从节能的观点考虑，对灯的输入功率下降。

在图5所示的正常点亮时，冷却风从反射镜22的下方进入，在灯1的周围通过并将其冷却，从顶部开口22a通过排气口24排出。

在这样的光照射装置20中使用的长弧型放电灯1如图6(A)(B)所示。

在长弧型放电灯1的发光管2的两端部形成有密封部3、3，在发光管2内配置有一对电极4、4。

另外，在所述密封部3的后端安装有灯头5，在将该灯1装配于光照射装置的情况下，该灯头5被安装于未图示的灯支撑部件。

而且，在发光管2的上表面，在其沿着发光长度的大致整个区域形成有反射膜10，将发光管2内的朝向上方的光反射而对下方的处理物进行照射。

作为上述结构的长弧型放电灯1，例如采用在发光管2内封入有汞、铁、铊等金属的金属卤化物灯，以便良好地放射紫外线。

另外，作为在这样的发光管2的上表面形成的反射膜10，采用如图7所示的由二氧化硅(SiO₂)、氧化铝(Al₂O₃)构成的陶瓷类的球状颗粒11。

但是，如图7(B)所示，该球状的颗粒形状存在如下问题：进入颗粒的光在颗粒内部扩散反射，因此反射角增大的反射光不能到达照射面即下方的处理物，较多的光扩散而损失。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008－130302号公报

发明内容

本发明鉴于上述现有技术的问题，提供一种光照射装置，包括配置在壳体内的长弧型放电灯以及配置在该放电灯的背面的水槽状的反射镜，在所述放电灯中，在与形成于所述壳体的冷却风排气口对应的发光管外表面的沿着发光长度的大致整个区域形成有带状的反射膜，所述光照射装置能够增加被所述反射膜反射的光中的朝向灯下方的处理物的反射光，实现照度提高，以进行高效的处理。

另外，本发明提供如下结构的长弧型放电灯：在所述光照射装置所使用的长弧型放电灯中，能够通过在其外表面形成的反射膜，有效地使反射光朝向下方的处理物。

为了解决上述问题，本发明所涉及的光照射装置的特征在于，在长弧型放电灯的发光管上形成的反射膜是将鳞片状的陶瓷颗粒进行层叠而形成的。

另外，本发明的特征在于，形成所述反射膜的鳞片状的陶瓷颗粒是二氧化硅(SiO₂)或者氧化铝(Al₂O₃)中的任一种或者其组合。

另外，本发明的特征在于，所述鳞片状的陶瓷颗粒的平均直径比所述长弧型放电灯的出射光的波长大。

另外，本发明提供一种长弧型放电灯，由发光管以及在该发光管的外表面的一部分沿着发光长度的大致整个区域形成的带状的反射膜而构成，所述长弧型放电灯的特征在于，所述反射膜是将鳞片状的陶瓷颗粒进行层叠而形成的。

另外，本发明的特征在于，形成所述长弧型放电灯的所述反射膜的鳞片状的陶瓷颗粒的平均直径比所述放电灯的出射光的波长大。

根据本发明的光照射装置，长弧型放电灯的反射膜是将鳞片状的陶瓷颗粒进行层叠而形成的，因此从灯发光管内部到达反射膜的光几乎不会发生漫反射，朝向照射面方向的成分增大，对处理物的照度显著地提高。

另外，鳞片状的陶瓷颗粒的平均直径比来自灯的出射光的波长大，因此能够得到正反射性较强的反射膜。

附图说明