[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，其特征在于包括：

圆筒状的转子；

圆筒状的定子，与所述转子协动而排出气体；

基座，收纳有所述定子的至少一部分，且在所述定子的外周对向的位置形成有贯通孔；

加热部，将所述贯通孔从大气侧向真空侧贯通而热接触于所述定子的外周面，且对所述定子进行加热，其中在所述贯通孔与所述加热部之间形成有间隙，且所述加热部未固定于所述基座；以及

轴密封材料，将所述贯通孔与所述加热部的间隙真空密封。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述加热部以与所述贯通孔同心的状态在所述定子进行固定。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于：

在所述加热部及所述基座分别形成有销孔，所述销孔供定位销插入，所述定位销用于将所述加热部及所述基座设为所述同心状态。

4.根据权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于还包括：

限制部，对所述固定被解除时的所述加热部向大气侧的移动进行限制。

5.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述加热部包括将吸入的气体排出的排气管、及装设于所述排气管的加热器，

所述排气管贯通所述基座的所述贯通孔，并且一端热接触于所述定子的外周面，另一端露出至大气侧，且

所述轴密封材料将所述贯通孔与所述排气管的间隙真空密封。