[发明专利]一种宽光谱大视场投影物镜

权利要求书

1.一种宽光谱大视场投影物镜，其从物侧(P1)到像侧(P2)依次包括第一镜组(G1)、第二镜组(G2)、第三镜组(G3)；其中，

在第二镜组(G2)中，满足关系式：Vd＝(nd－1)/(nF－nC)，nd＜1.65且Vd＞62的正透镜一最少有两个，nd＞1.50且Vd＜55的负透镜一最少有一个；其中，Vd为色散系数、体现光学材料的色散程度的常数，nF为波长486nm的F线折射率，nd为波长587nm的d线折射率，nC为波长656nm的C线折射率；

在第三镜组(G3)中，含有一对互相面对的凹面一，且所述一对互相面对的凹面一之间至少含有一个负透镜二，且所述负透镜二含有面向物侧的凹面二；第三镜组(G3)还满足关系式：至少含有一个正透镜二和一个负透镜二满足ndp＞ndn，至少含有一个正透镜二和一个负透镜二满足Vdp＜Vdn；其中，ndp为相应正透镜二的d线折射率，ndn为相应负透镜二的d线折射率，Vdp为相应正透镜二的色散系数，Vdn为相应负透镜二的色散系数；

第一镜组(G1)、第二镜组(G2)、第三镜组(G3)满足关系式：0.3<f1/fa<2.8，0.25<f2/fa<2.5，0.25<-f3/fa<5.5；其中，f1为第一镜组(G1)的组合焦距，f2为第二镜组(G2)的组合焦距，f3为第三镜组(G3)的组合焦距，fa为整个投影物镜的组合焦距；

其特征在于：

在第一镜组(G1)与第三镜组(G3)之间设置有光阑(AS)；在物侧(P1)与像侧(P2)之间设置有等效平行平板(PLATE)，等效平行平板满足：Tpl＞0.6Dop，其中，Tpl为等效平行平板厚度，Dop为等效平行平板的最大通光口径；

在第二镜组(G2)中，至少含有两个空气透镜满足关系式：|(r21-r22)/(r21+r22)|<0.6，|(Vd21-Vd22)|＞28，|(nd21-nd22)|＞0.09；其中，r21、r22分别为空气透镜两侧的透镜表面的曲率半径，Vd21、Vd22分别为空气透镜两侧的透镜的色散系数，nd21、nd22分别为空气透镜的两侧的透镜的d线折射率；

第二镜组(G2)至少含有二个正透镜在室温条件下满足：dn/dt＜0；其中，n为折射率，t为温度，dn/dt为光学材料的折射率随温度变化的折射率温度系数。

2.如权利要求1所述的宽光谱大视场投影物镜，其特征在于：在第一镜组(G1)中：至少含有一个正透镜三和一个负透镜三满足：ndp＞ndn；至少含有一个正透镜三和一个负透镜三满足：Vdp＜Vdn；其中，ndp为相应正透镜三的d线折射率，ndn为相应负透镜三的d线折射率，Vdp为相应正透镜三的色散系数，Vdn为相应负透镜三的色散系数。

3.如权利要求1所述的宽光谱大视场投影物镜，其特征在于：所述等效平行平板设置在第一镜组(G1)与第三镜组(G3)之间，所述等效平行平板为具有部分透射和部分反射功能的分光束器件。

4.如权利要求1至3中任意一项所述的宽光谱大视场投影物镜，其特征在于：所述宽光谱大视场投影物镜的透镜总数量位于12到28之间。

5.如权利要求1至3中任意一项所述的宽光谱大视场投影物镜，其特征在于：第一镜组(G1)、第二镜组(G2)、第三镜组(G3)中的所有透镜表面为球面，不含有非球面，第二镜组(G2)、第三镜组(G3)均为不含有胶合面的单透镜组成。

6.如权利要求1至3中任意一项所述的宽光谱大视场投影物镜，其特征在于：从物侧到像侧，第二镜组(G2)依次包括第五透镜(L5)、第六透镜(L6)、第七透镜(L7)、第八透镜(L8)、第九透镜(L9)、第十透镜(L10)、第十一透镜(L11)；其中，第六透镜(L6)和第九透镜(L9)均具有负光焦度，第五透镜(L5)、第七透镜(L7)、第八透镜(L8)、第十透镜(L10)和第十一透镜(L11)均具有正光焦度。

7.如权利要求6所述的宽光谱大视场投影物镜，其特征在于：第二镜组(L2)的第六透镜(L6)与第七透镜(L7)之间、第八透镜(L8)与第九透镜(L9)之间、第九透镜(L9)与第十透镜(L10)之间均存在一个所述空气透镜。