[发明专利]一种拉曼光谱检测方法

权利要求书

1.一种拉曼光谱检测方法，其特征在于，

激发光源系统形成激发光，所述激发光经过所述激发光源系统中的扩束装置后，形成水平进入拉曼滤光片组的垂直侧的水平入射光，并形成从与所述拉曼滤光片组所述垂直侧相垂直的水平侧垂直射出的垂直出射光，经过高数值孔径显微物镜且聚焦在样品处的光斑，产生拉曼散射，经所述拉曼滤光片组滤光、后续聚焦处理后，拉曼信号进入单色仪系统进行分光处理，之后经单光子计数器接收，由所述单色仪系统和所述单光子计数器共同确定拉曼信号。

2.根据权利要求1中的拉曼光谱检测方法，其特征在于，所述显微物镜采用的是数值孔径为大于0.4的显微物镜。

3.根据权利要求1中的拉曼光谱检测方法，其特征在于，所述光斑辐射照度大于1.6×10⁹W/m²。

4.根据权利要求1中的拉曼光谱检测方法，其特征在于，所述光斑的直径小于1.6um。

5.根据权利要求1中的拉曼光谱检测方法，其特征在于，所述聚焦处理使用管镜进行聚焦。

6.根据权利要求1中的拉曼光谱检测方法，其特征在于，所述拉曼光谱检测方法还包括成像调节处理，所述成像调节处理将经过所述拉曼滤光片组滤光和所述后续聚焦处理后形成的信号进行成像调节处理。

7.根据权利要求6中的拉曼光谱检测方法，其特征在于，所述成像调节处理将聚焦处理后的信号成像于所述单色仪系统中的入射窄缝处。

8.根据权利要求6中的拉曼光谱检测方法，其特征在于，所述成像调节处理中采用的是固体样品成像系统，所述固体样品成像系统包括推拉反射装置、CCD成像装置，所述推拉反射装置带有滑动装置，当固体样品需实现对焦，所述推拉反射装置移动至光路中，完成对焦后，所述推拉反射装置移出光路。

9.根据权利要求8中的拉曼光谱检测方法，其特征在于，所述CCD成像装置中的CCD靶面到所述管镜的距离和所述单色仪系统中的入射狭缝到所述管镜的距离相等。

10.根据权利要求1中的拉曼光谱检测方法，其特征在于，在所述聚焦处理后与所述成像调节之间，还包括一次或多次反射处理。

11.根据权利要求1中的拉曼光谱检测方法，其特征在于，在所述产生拉曼散射与所述经所述拉曼滤光片组滤光之间还包括采用所述显微物镜聚光处理步骤。

12.根据权利要求1中的拉曼光谱检测方法，其特征在于，所述拉曼滤光片组包括垂直放置的窄带滤光片、45°放置的二向分光系统以及水平放置的瑞利滤光片。

13.根据权利要求12中的拉曼光谱检测方法，其特征在于，所述窄带滤光片为532nm、785 nm或488 nm窄带滤光片。

14.根据权利要求1中的拉曼光谱检测方法，其特征在于，所述拉曼光谱检测方法采用的是包括所述显微物镜的显微物镜系统，所述显微物镜系统采用复消色差平场无穷远金相显微物镜，所述显微物镜系统还包括管镜，所述拉曼滤光片组安装在所述显微物镜和所述管镜之间，所述样品受所述激发光产生的拉曼信号经所述显微物镜进行聚焦后，经所述拉曼滤光片组滤光，再经所述管镜聚焦后射出。

15.根据权利要求1所述的拉曼光谱仪光路装置，其特征在于，所述单色仪系统的入射狭缝宽度为32-40um。

16.根据权利要求15所述的拉曼光谱仪光路装置，其特征在于，所述单色仪系统的入射狭缝宽度为35 um、32 um或40 um。