[发明专利]衬底载板、柔性显示面板及相应的制作方法、柔性显示装置有效
申请号: | 201510189087.6 | 申请日: | 2015-04-20 |
公开(公告)号: | CN104752443A | 公开(公告)日: | 2015-07-01 |
发明(设计)人: | 谢春燕;谢明哲 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 柔性 显示 面板 相应 制作方法 显示装置 | ||
1.一种衬底载板,用于承载柔性显示面板的柔性衬底,所述柔性显示面板包括显示区域和电路绑定区域,其特征在于,所述衬底载板的对应所述显示区域的表面为光滑平面,所述衬底载板的对应所述电路绑定区域的表面中形成有多个微型凹槽。
2.根据权利要求1所述的衬底载板,其特征在于,所述微型凹槽的内径不大于500微米。
3.根据权利要求1或2所述的衬底载板,其特征在于,所述微型凹槽的内径不小于20微米。
4.根据权利要求1所述的衬底载板,其特征在于,所述微型凹槽的深度不大于所述衬底载板厚度的十分之一。
5.根据权利要求1所述的衬底载板,其特征在于,所述微型凹槽为圆形槽或矩形槽。
6.根据权利要求1所述的衬底载板,其特征在于,所述多个微型凹槽中至少两个微型凹槽连通。
7.根据权利要求1所述的衬底载板,其特征在于,所述微型凹槽均匀分布在所述衬底载板对应所述电路绑定的区域中。
8.一种衬底载板的制作方法,所述衬底载板用于承载柔性显示面板的柔性衬底,所述柔性显示面板包括显示区域和电路绑定区域,其特征在于,所述制作方法包括:
采用激光烧蚀或湿法刻蚀,在所述衬底载板的对应所述电路绑定区域的表面中形成多个微型凹槽。
9.根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于,所述采用湿法刻蚀在所述衬底载板的对应所述电路绑定区域的表面中形成多个微型凹槽具体包括:
至少在衬底载板对应电路绑定区域形成抗蚀层;
对所述抗蚀层进行图形化处理,图形化处理后的抗蚀层包括抗蚀层去除区域和抗蚀层保留区域;
利用刻蚀液刻蚀所述抗蚀层去除区域的衬底载板;
将所述刻蚀层剥离。
10.一种柔性显示面板的制作方法,其特征在于,包括:
在权利要求1-7任一项所述的衬底载板上形成柔性衬底;
在所述柔性衬底对应柔性显示面板显示区域的表面形成显示器件;
在所述柔性衬底对应衬底载板表面中有多个微型凹槽的区域绑定电路;
利用激光从所述衬底载板形成柔性衬底的相对侧一次照射所述显示区域和所述绑定电路的区域,以将所述柔性衬底与所述衬底载板分离。
11.一种柔性显示面板,其特征在于,通过权利要求10所述的制作方法形成。
12.一种柔性显示装置,其特征在于,包括如权利要求11所述的柔性显示面板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的