[发明专利]一种具有伞状塞的亚波长增透结构的太阳能电池栅极

权利要求书

1.一种具有伞状塞的亚波长增透结构的太阳能电池栅极，其特征在于：太阳能电池栅极上设有金属伞状塞的亚波长增透结构；太阳能电池栅极的上部为二氧化硅基底，在所述的二氧化硅基底上设有二氧化硅凸起，所述的二氧化硅凸起是空心圆柱形，内部为圆柱形空腔；除了二氧化硅凸起部位，二氧化硅基底的其他位置的上表面都附着有金属膜；金属伞状塞的亚波长增透结构包括伞柄和伞盖，所述的伞柄位于二氧化硅凸起的圆柱形空腔内。

2. 如权利要求1所述的具有伞状塞的亚波长增透结构的太阳能电池栅极，其特征在于：太阳能电池栅极上分布有多个金属伞状塞，俯视时为200nm*200nm的周期性二维阵结构。

3.如权利要求1所述的具有伞状塞的亚波长增透结构的太阳能电池栅极，其特征在于：所述的金属膜的厚度小于二氧化硅凸起的高度。

4.如权利要求1所述的具有伞状塞的亚波长增透结构的太阳能电池栅极，其特征在于：所述的伞柄半径为圆柱形空腔的半径的一半。

5.如权利要求1所述的具有伞状塞的亚波长增透结构的太阳能电池栅极，其特征在于：所述的金属膜的厚度为30nm，所述的二氧化硅凸起的高度为40nm，所述的圆柱形空腔的半径为35nm。

6.如权利要求1所述的具有伞状塞的亚波长增透结构的太阳能电池栅极，其特征在于：所述的伞柄高40nm，半径25nm。

7.如权利要求1所述的具有伞状塞的亚波长增透结构的太阳能电池栅极，其特征在于：所述的伞盖高40nm，底面为半径为70nm的圆形。

8.如权利要求1所述的具有伞状塞的亚波长增透结构的太阳能电池栅极，其特征在于：最大透射率可达87%。

9.一种具有伞状塞的亚波长增透结构的太阳能电池栅极的制作方法，其特征在于：采用纳米压印技术，用计算机程序控制的电子束直接写入纳米压设备，制备所设计图案的压印版，先制备除二氧化硅凸起和伞状塞以外的金属膜部分的模板，后制备二氧化硅凸起的模板，再制备单独的伞状塞模板，然后将图形转印到涂在基底上的光刻胶上，最后通过离子铣削刻蚀到衬底上，形成一种具有伞状住的亚波长伞状增透太阳能电池栅极结构。

10.一种具有伞状塞的亚波长增透结构的太阳能电池栅极的制作方法，其特征在于：首先通过计算机控制的电子束曝光技术制作具有设计图案的掩膜版，利用光刻技术通过掩膜曝光将图形转印到涂在基片上的光刻胶上，再通过离子束刻蚀将光刻蚀胶图案逐层转移，形成一种具有伞状塞的亚波长周期增透结构。