[发明专利]非接触式搬送手

权利要求书

1.一种非接触式搬送手(1)，其特征在于包括：

吸着保持板(2)，所述吸着保持板(2)具有作为正面的平坦状的吸着面(2a)、作为背面的非吸着面(2b)以及室(3)；以及

盖部(8)，其中

所述吸着面具有气体排出槽(10)，

所述非吸着面具有气体供给槽(6)，所述气体供给槽(6)具有气体引入端口(6d)，

所述室(3)与所述气体供给槽的端部连通，

所述气体供给槽构造成从所述气体引入端口朝向所述室供给气体，

所述室的壁面(3a)具有入口(10a)，

所述气体排出槽经由所述入口与所述室连通，并且所述气体排出槽构造成沿离开所述室的方向排出所述气体，

所述盖部固定在所述非吸着面上以覆盖所述气体供给槽和所述室，

所述气体排出槽由多个气体排出槽构成，

所述气体供给槽具有线性形状，

所述室设置在所述吸着面的中央处，以及

所述气体排出槽从所述室放射状地且线性地延伸。

2.根据权利要求1所述的非接触式搬送手，其中

所述气体排出槽关于所述室对称地布置。

3.根据权利要求1或2所述的非接触式搬送手，其中

所述气体供给槽具有主槽(6a)和宽度减小槽(6b)，

所述主槽具有恒定宽度并且线性地延伸，

所述宽度减小槽从所述主槽的端部延伸至所述室，以及

所述宽度减小槽的槽宽度朝向所述室逐渐地减小。

4.根据权利要求1或2所述的非接触式搬送手，还包括：

设置在所述室的底面(3b)上的突出部(20；30；40)。

5.根据权利要求4所述的非接触式搬送手，其中

所述突出部的至少一部分与所述气体供给槽的出口(6c)相对。