[发明专利]一种柔性OLED脱膜装置

权利要求书

1.一种柔性OLED脱膜装置，其特征在于：包括主机台(1)，主机台(1)的上平面设有可移动的基板吸附基台(2)；所述基板吸附基台(2)用于吸附OLED基板(12)；

所述主机台(1)包括OLED基板放置区域和OLED基板激光照射区域；所述OLED基板放置区域的上部设有悬挂机台(7)；所述激光照射区域的上部设有激光发生器(5)，激光发生器(5)通过其设有的线阵激光源(6)对激光照射区域内的OLED基板(12)进行激光照射；

所述悬挂机台(7)的下表面设有吸附盘，所述吸附盘与悬挂机台(7)之间通过气缸(8)连接；还包括自动机械手(3)、基板卡匣(4)和传输带(10)，所述自动机械手(3)设置在主机台(1)的前端，所述传输带(10)与主机台(1)水平平行；基板卡匣(4)设置在自动机械手(3)的一旁。

2.根据权利要求1所述的柔性OLED脱膜装置，其特征在于：所述主机台(1)和基板吸附基台(2)之间通过滑轨耦合。

3.根据权利要求1所述的柔性OLED脱膜装置，其特征在于：所述基板吸附基台(2)为表面开有密集小孔的真空吸附基台。

4.根据权利要求1所述的柔性OLED脱膜装置，其特征在于：所述基板卡匣(4)的下部设有卡匣基座(11)。

5.根据权利要求1所述的柔性OLED脱膜装置，其特征在于：所述吸附盘为真空吸盘(9)。