[发明专利]保持装置和真空处理装置有效
申请号: | 201510192376.1 | 申请日: | 2015-04-22 |
公开(公告)号: | CN105000384B | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 岳良太;前平谦 | 申请(专利权)人: | 株式会社爱发科 |
主分类号: | B65G49/06 | 分类号: | B65G49/06;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 陈国慧;李婷 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 保持 装置 真空 处理 | ||
本发明提供一种保持装置和真空处理装置。不向真空环境中排出粘附衬垫的排出气体地对保持对象物进行真空处理。在保持装置(11)的真空容器(15)的内部设置粘附衬垫(17),在将保持对象物(5)粘附保持的状态下,向配置在真空容器(15)的边缘上的接触部(18)按压,使真空容器(15)的内部空间(25)从外部空间(26)分离。预先将真空容器(15)的内部空间(25)从设置在真空容器(15)上的排气孔(14)真空排气,当进行真空处理时,使排气孔(14)成为气体不穿过的状态,使得来自粘附衬垫(17)的排出气体不排出到对保持对象物(5)进行真空处理的环境内。
技术领域
本发明涉及将保持对象物利用粘附片材保持并能够将其在真空环境中移动的保持装置、和对保持在该保持装置上的保持对象物进行真空处理的真空处理装置。
背景技术
在液晶显示器(LCD)或等离子显示器(PDP)等平板显示器的制造工序中,包含基板组装工序及基板输送工序,有为了保持基板而使用粘附卡盘装置的技术。
例如在日本特许第3882004号公报所记载的装置中,将由基板输送用机器人移送的基板以预定压力按压在配置于保持板的粘附部件上,利用粘附部件的粘附力保持基板。还记载有通过将被粘附部件和基板包围的凹部真空抽吸而更强地抽吸保持的技术。
根据该装置,能够利用由变形膜分隔的凹部与封闭空间的压力差使可动膜变形,从而进行基板和粘附部件的剥离及粘附保持,此外,通过具备通气路、吸气源,还能够在使用真空抽吸的抽吸保持或剥离时使气体喷出。
但是,在该公报所记载的吸附保持中,如果在没有达到充分的真空度的状态下进行粘附衬垫与基板的贴合,则有在将粘附部件和基板贴合时咬入空气的问题,由于粘附力依赖于基板与粘附部件的接触面积,所以如果咬入空气,则接触面积减小,粘附力下降,基板有可能下落。
此外,在粘附衬垫与基板紧贴的部分不产生压力差而不产生按压力,所以为了确保较强的按压力,而需要使粘附衬垫之间的空间较大,有可能由于压力而使基板变形,或者需要装置的大型化。
此外,通过在由变形膜分隔的凹部和封闭空间产生压力差,将配置在变形膜上的粘附衬垫向基板方向按压,但根据变形膜和粘附衬垫的接合部处的压力分布,有可能粘附衬垫的粘附表面变形而不能获得与基板的较强的紧贴。
此外存在以下问题:基板和粘附部件粘贴的一侧相反的基板表面(成膜面)与基板输送用机器人的部件接触而产生颗粒。特别是,有机EL显示器的玻璃基板的成膜面的颗粒给设备特性带来不良影响。
在日本特开2011-35301号公报所公开的装置中记载有以下技术:在支承板上配置有粘附衬垫,通过使由配置有粘附衬垫的一侧的支承板和板状工件包围的吸附槽成为负压,使得以压力按压支承板而使粘附衬垫与板状工件紧贴,以及使配置有粘附衬垫的吸附槽返回到大气压,使在支承板上没有配置粘附衬垫的一侧的调压室成为负压,从而在支承板上作用压力,将粘附衬垫从板状工件剥离。
在日本特许第4746579号公报所记载的装置中,记载有利用负压使粘附剂片材与基板吸附的技术,此外,记载有通过使用弹性多孔质片材使得不仅利用负压吸附基板还使基板的应力减少的技术。但是,由于多孔质的面积相对于弹性多孔质片材的吸附面较小,所以有由于作用于基板的负压下降而不能将较重的基板抬起的问题。此外,在使用弹性多孔质片材的方法中,有不能在真空中使用的问题。
专利文献1:日本特开2011-35301号公报
专利文献2:日本特许第3882004号公报
专利文献3:日本特许第3917651号公报
专利文献4:日本特许第4746579号公报。
发明内容
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