[发明专利]干涉测量中的扫描同步方法

权利要求书

1.一种干涉测量中的扫描同步方法，其用于干涉仪，所述干涉仪包括：光源；测量头，其将从所述光源发出的光引导至物体和参考镜，以便可以通过从所述物体反射的光和来自于所述参考镜的参考光来形成干涉条纹；测量头驱动器，其驱动所述测量头，以靠近或远离所述物体；图像获取器，其获取所述测量头形成的所述干涉条纹的图像；以及振荡发生器，其使所述物体振荡，所述方法包括：

产生具有用于使所述物体振荡的预定周期的第一振荡信号，并且产生具有与所述第一振荡信号同步的脉冲波形的第二振荡信号；

通过所述第一振荡信号使所述物体振荡；

在产生图像触发信号之前产生切换触发信号，所述切换触发信号具有的上升时间早于所述第二振荡信号的上升时间；

通过在所述第二振荡信号的周期的每整数倍时对所述第二振荡信号进行采样来产生所述图像触发信号；

向所述图像获取器施加所述图像触发信号，以便获取所述物体的图像；以及

在所述图像获取器获取所述物体的图像之后，通过所述测量头驱动器将所述测量头移动预定的距离，

其中，当所述物体振荡时，在相同的相位处获取所述物体的图像；以及

当通过所述切换触发信号对所述第二振荡信号进行采样时，产生所述图像触发信号。

2.一种干涉测量中的扫描同步方法，其用于干涉仪，所述干涉仪包括：光源；测量头，其将从所述光源发出的光引导至物体和参考镜，以便可以通过从所述物体反射的光和来自于所述参考镜的参考光来形成干涉条纹；测量头驱动器，其驱动所述测量头，以靠近或远离所述物体；以及图像获取器，其获取所述测量头形成的所述干涉条纹的图像，所述方法包括：

产生以预定周期振荡的所述物体的第一振荡信号，并且产生具有与所述第一振荡信号同步的脉冲波形的第二振荡信号；

在产生图像触发信号之前产生切换触发信号，所述切换触发信号具有的上升时间早于所述第二振荡信号的上升时间；

通过在所述第二振荡信号的周期的每整数倍时对所述第二振荡信号进行采样来产生所述图像触发信号；

向所述图像获取器施加所述图像触发信号，以便获取所述物体图像；以及

在所述图像获取器获取所述物体的图像之后，通过所述测量头驱动器将所述测量头移动预定的距离，

其中，当所述物体振荡时，在相同的相位处获取所述物体的图像；以及

当通过所述切换触发信号对所述第二振荡信号进行采样时，产生所述图像触发信号。

3.根据权利要求1或2所述的干涉测量中的扫描同步方法，其中，通过对所述第二振荡信号的脉冲进行计数，在所述第二振荡信号的周期的每整数倍时产生所述切换触发信号。

4.根据权利要求1或2所述的干涉测量中的扫描同步方法，进一步包括：在产生所述图像触发信号之前，将所述第二振荡信号比所述第一振荡信号更多地延迟预定的相位，以当所述物体振荡时在获取所述物体的图像的时间点处移相。

5.根据权利要求4所述的干涉测量中的扫描同步方法，其中所述第二振荡信号更多地被延迟所述第一振荡信号的1/4周期的整数倍。