[发明专利]蒸发单元

权利要求书

1.一种蒸发单元(10)，其用于使材料(7)蒸发以使所述材料沉积在置于真空沉积室(20)中的基材(2)上，所述蒸发单元包括：

-界定蒸发室(100)的内封壳，所述蒸发室适合接纳容纳待蒸发的材料(7)的坩埚(110)，该内封壳(100)具有用于将所述坩埚(110)插入所述蒸发室(100)中的插入开口(12)，

-蒸发装置(101，131，132)，所述蒸发装置设置于所述内封壳(100)的外周并且适合当所述坩埚(110)被接纳在所述蒸发室(100)中时将所述坩埚(110)置于蒸发状态下以用于容纳在所述坩埚(110)中的材料(7)的蒸发，

-喷射管道(14)，所述喷射管道适合将已蒸发的材料(7)的蒸气流(3)从所述蒸发室(100)输送至位于所述真空沉积室(20)中的喷射器(13)，和

-设置在所述喷射管道(14)上的断流阀(17)，

其特征在于，所述蒸发单元包括：

-用于关闭所述蒸发单元(10)的内封壳(100)的所述插入开口(12)的关闭装置(105，105A)，这种关闭装置(105，105A)具有：

-允许所述坩埚(110)插入所述蒸发室(100)中的开启构型，和

-封闭构型，在所述封闭构型下所述蒸发室(100)被围合并且在所述断流阀(17)打开时经由所述喷射管道(14)与所述真空沉积室(20)连通，和

-开启装置(18)，所述开启装置适合在坩埚(110)的包壳(111，112，115，116)中提供蒸发开口，所述坩埚(110)充填有待蒸发的材料(7)并且在开启之前维持在真空下，所述蒸发开口允许将所述坩埚(110)置于与所述蒸发室(100)连通。

2.根据权利要求1所述的蒸发单元(10)，其中，当所述插入开口(12)被处于封闭构型下的所述关闭装置(105，105A)关闭时以及当在插入之后所述坩埚(110)被接纳在所述蒸发室(100)中时，所述蒸发室(100)和所述坩埚(110)各自的尺寸被调节成使得介于所述蒸发单元(10)的所述内封壳(100)与所述坩埚(110)的所述包壳之间的残留容积(109)低于所述坩埚(110)的内部容积(119)。

3.根据权利要求1所述的蒸发单元(10)，其中，当所述插入开口(12)被关闭并且所述坩埚(110)被接纳在所述蒸发室(100)中时，所述蒸发室(100)和所述坩埚(110)各自的尺寸被调节成使得介于所述蒸发单元(10)的所述内封壳(100)与所述坩埚(110)的所述包壳之间的所述残留容积(109)和由所述喷射管道(14)的介于所述蒸发室(100)与所述断流阀(17)之间的部分界定的附加容积(159)之和低于所述坩埚(110)的内部容积(119)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的蒸发单元(10)，包括包封所述内封壳(100)、所述蒸发装置(101，131，132)和所述断流阀(17)的外封壳(11)，并且具有与所述内封壳(100)的所述插入开口(12)相对或合并的通过开口，以允许所述坩埚(110)通过从而将所述坩埚(110)插入所述蒸发室(100)中。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的蒸发单元(10)，其中，用于关闭所述蒸发单元(10)的所述关闭装置(105，105A)在所述坩埚(110)插入所述蒸发室(100)中时从所述关闭装置的开启构型转入所述关闭装置的封闭构型。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的蒸发单元(10)，其中，用于关闭所述蒸发单元(10)的所述关闭装置(105，105A)包括封闭板(105)，所述封闭板(105)设置有用于实现所述封闭板(105)与所述内封壳(100)之间的紧密性的垫片元件(105A)。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的蒸发单元(10)，其中，用于开启所述蒸发单元(10)的所述开启装置(18)包括穿孔针，所述穿孔针用于刺穿抽真空后的所述坩埚(110)的包壳的紧密的隔膜密封件(116)。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的蒸发单元(10)，其中，设置有用于抽吸所述内封壳(100)的附加抽吸装置(141，143)，所述附加抽吸装置适合对所述蒸发室(100)抽真空。