[发明专利]多功能电镀测试架有效
| 申请号： | 201510198041.0 | 申请日： | 2015-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN104746109B | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 张斌珍;徐苏坪;王雄师;杨昕;赵龙;崔建利 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | C25D1/00 | 分类号： | C25D1/00;G01N13/00 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多功能 电镀 测试 | ||
1.一种多功能电镀测试架，其特征在于：包括两根平行设置的支架主梁（1），两根支架主梁（1）上固定有三组阳极插槽（2），其中的两组阳极插槽（2）分别位于两根支架主梁（1）的左右两端；每组阳极插槽（2）由两个相邻设置的倒等腰梯形框架（2-1）组成，倒等腰梯形框架（2-1）的上底框共同固定在两根支架主梁（1）上；三组阳极插槽（2）的整体两侧分别固定有一根支架侧梁（3），支架侧梁（3）固定在倒等腰梯形框架（2-1）的腰框上；两根支架主梁（1）上位于每组阳极插槽（2）的两个倒等腰梯形框架（2-1）之间的位置开设有一对阳极卡槽（2-2）；两根支架主梁（1）上位于左端阳极插槽（2）与中间阳极插槽（2）之间的位置开设有若干对硅片插槽（1-1），两根支架主梁（1）上位于右端阳极插槽（2）与中间阳极插槽（2）之间的位置开设有若干对硅片插槽（1-1），并且位于中间阳极插槽（2）右侧的硅片插槽（1-1）对数多于位于中间阳极插槽（2）左侧的硅片插槽（1-1）对数的二倍。
2.根据权利要求1所述的多功能电镀测试架，其特征在于：左端阳极插槽（2）靠里一侧的倒等腰梯形框架（2-1）的上底框上位于两根支架主梁（1）之间的部分为断开设置；右端阳极插槽（2）靠里一侧的倒等腰梯形框架（2-1）的上底框上位于两根支架主梁（1）之间的部分为断开设置；中间阳极插槽（2）的两个倒等腰梯形框架（2-1）的上底框上位于两根支架主梁（1）之间的部分均为断开设置。
3.根据权利要求1或2所述的多功能电镀测试架，其特征在于：位于中间阳极插槽（2）右侧的硅片插槽（1-1）对数为82对，位于中间阳极插槽（2）左侧的硅片插槽（1-1）对数为40对。
4.根据权利要求1或2所述的多功能电镀测试架，其特征在于：左端阳极插槽（2）靠外一侧的倒等腰梯形框架（2-1）的下底框上和右端阳极插槽（2）靠外一侧的倒等腰梯形框架（2-1）的下底框上都分别固定有把手（4）。
5.根据权利要求3所述的多功能电镀测试架，其特征在于：左端阳极插槽（2）靠外一侧的倒等腰梯形框架（2-1）的下底框上和右端阳极插槽（2）靠外一侧的倒等腰梯形框架（2-1）的下底框上都分别固定有把手（4）。
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