[发明专利]一种光腔衰荡高反射率测量的数据处理方法

权利要求书

1.一种光腔衰荡高反射率测量的数据处理方法，其特征在于：基于光腔衰荡法测量高反射光学元件的反射率，记录多次反射率值R_x及相应的衰荡信号幅值A，令y＝1/A、x＝R_x，利用二次多项式y＝a₀+a₁x+a₂x²对所记录数据拟合得到各拟合系数a₀、a₁和a₂；据待测腔透射光强函数有其中I_t(λ)为透射光强，I_in(λ)为入射光强，为初始腔平均反射率，R₁、R₂分别为耦合腔镜和出射腔镜反射率，δ为激光在衰荡腔内往返反射一次后两透射波相位延迟，则据可由测得幅值计算相应待测光学元件反射率，分析R'_x与通过衰荡时间确定待测光学元件反射率R_x的差值，可验证该方法的有效性；同时，激光在本衰荡腔内往返一次后两透射波相位延迟δ余弦值可由计算得到，该余弦值反映了所建立的光腔衰荡高反射率测试系统的光路调节状况，光路调节时应使cosδ尽量接近于1。

2.根据权利要求1所述的一种光腔衰荡高反射率测量的数据处理方法，其特征在于：所述的光腔衰荡法测量高反射光学元件反射率所使用的初始腔为直型腔或折叠腔。

3.根据权利要求1所述的一种光腔衰荡高反射率测量的数据处理方法，其特征在于：所述的光腔衰荡法测量高反射光学元件反射率所使用的激光光源为脉冲光源或连续光源。

4.根据权利要求1所述的一种光腔衰荡高反射率测量的数据处理方法，其特征在于：所述的记录多次反射率值为大口径光学元件不同位置的反射率，用于拟合的数据点数应大于等于10且数据点数越多拟合误差越小。

5.根据权利要求1所述的一种光腔衰荡高反射率测量的数据处理方法，其特征在于：所述的衰荡信号幅值A为对测得的衰荡信号做单指数拟合y＝a*exp(-t/τ)+b时的拟合系数a或所记录衰荡信号前3点平均值。