[发明专利]翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备

说明书

本发明提供了一种翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备。该翻转装置，用于翻转工件，工件包括承载基板和玻璃基板，承载基板包括多个基板定位柱，且玻璃基板通过基板定位柱固定在承载基板上，其特征在于，翻转装置包括：翻转台和设置于翻转台上方的翻转机构，且翻转机构包括由多个吸盘组成的吸盘组；顶起装置，包括设置于翻转台上的支撑架和位于支撑架上的顶针组，顶针组包括多个顶针，且顶针组中顶针的位置与吸盘组中吸盘的位置一一对应；检测装置，设置于翻转台上，且检测装置用于测量玻璃基板的各位置与翻转台之间的距离。采用翻转装置能够降低玻璃基板在翻转时的破碎率。

技术领域

本发明涉及共蒸发设备领域，具体而言，涉及一种翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备。

背景技术

蒸发式CIGS设备需要在玻璃下表面做工艺，然而玻璃基板从上道工艺到达CIGS区域时，工艺面朝上。于是，翻转上片台将玻璃基板翻转后放到Carrier（即承载基板）上，然后Carrier和玻璃基板一起进入CIGS共蒸发设备进行工艺。工艺完成后，翻转下片台再将玻璃基板翻转成工艺面朝上的形式，之后玻璃基板进入下一道工序。空的Carrier经由Carrier传输台到达翻转上片台，开始下一片的翻转、传输和工艺。

图1示出了共蒸发式CIGS设备的结构图。如图1所示，玻璃基板的传输系统由以下几个模块组成：玻璃基板传输台，翻转上片台，Carrier传输台，翻转下片台。其中，Carrier由Carrier边框5、支撑条6、基板定位柱4组成，如图2所示。其中，支撑条6主要用于在中间位置拖住玻璃基板（工艺面朝上）1，防止基板变形过大。基板定位柱主要用于将玻璃基板锁定在特定的区域内。

翻转下片的过程如下所示：翻转机构3把玻璃基板1'吸住（图3a），然后翻转机构通过吸盘组2开始翻转（图3b），再把玻璃基板放到基板传输台上（图3c），基板传输台再把玻璃基板传入下一道工序，其中：翻转机构上的吸盘共4个），玻璃基板传输台位置高于翻转机构位置，翻转机构高于Carrier。

然而，玻璃基板在经过CIGS设备中580度以上的工艺后，变形比较大。翻转机构在吸取一些翘起程度较大的基板时，吸盘直接压在玻璃上，会把玻璃压碎。同时，翻转机构翻转玻璃基板时，玻璃基板如果很靠近基板定位柱，就容易被基板定位柱刮到，导致玻璃碎裂。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备，以降低玻璃基板在翻转时的破碎率。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种翻转装置，用于翻转工件，工件包括承载基板和玻璃基板，承载基板包括多个基板定位柱，且玻璃基板通过基板定位柱固定在承载基板上，其特征在于，翻转装置包括：翻转台和设置于翻转台上方的翻转机构，且翻转机构包括由多个吸盘组成的吸盘组；顶起装置，包括设置于翻转台上的支撑架和位于支撑架上的顶针组，顶针组包括多个顶针，且顶针组中顶针的位置与吸盘组中吸盘的位置一一对应；检测装置，设置于翻转台上，且检测装置用于测量玻璃基板的各位置与翻转台之间的距离。

进一步地，支撑架呈长方形，且支撑架的四个顶角位置各设置一个顶针。

进一步地，顶针的直径大于吸盘的直径。

进一步地，顶起装置由气缸进行驱动。

进一步地，检测装置由多个测距传感器组成。

进一步地，承载基板还包括边框和设置于边框的中间位置的支撑条，且基板定位柱设置于边框上。

进一步地，基板定位柱呈锥形，且基板定位柱的底面设置于边框上。