[发明专利]用于减少有害物质的等离子体反应器

权利要求书

1.一种用于减少包括在处理气体中的有害物质的等离子体反应器，所述等离子体反应器被连接地安装在所述处理气体朝向真空泵的排气路径上，包括：

第一接地电极，其位于所述真空泵的前端部分，且具有管状形状，并包括面向所述真空泵的第一端部部件和在其相对侧的第二端部部件；

第二接地电极，其连接到所述第一接地电极的侧面，且具有管状形状，并转移所述处理气体；

绝缘体，其连接地安装在所述第二端部部件处；以及

驱动电极，其固定到所述绝缘体的外表面上，在连接到电源时，AC或RF电压被施加到所述驱动电极。

2.根据权利要求1所述的用于减少包括在处理气体中的有害物质的等离子体反应器，其中，

所述绝缘体包括第一绝缘部件和第二绝缘部件，所述第一绝缘部件被固定到所述第二端部部件且具有与所述第一接地电极平行的管状形状，所述第二绝缘部件形成第一喷射孔且具有覆盖所述第一绝缘部件的平面形状，第一反应气体喷射到所述第一喷射孔中，

其中所述驱动电极被以环形形状固定到所述第一绝缘部件的外周。

3.根据权利要求2所述的用于减少包括在处理气体中的有害物质的等离子体反应器，其中，

用于喷射第二反应气体的第二喷射孔形成在所述第二接地电极处，且

所述第一反应气体保持在等离子体内部时的停留时间不同于所述第二反应气体保持在所述等离子体内部时的停留时间。

4.根据权利要求2所述的用于减少包括在处理气体中的有害物质的等离子体反应器，其中，

所述第二端部部件和所述第一绝缘部件的直径比所述第一端部部件的直径大，且

所述第一接地电极包括接触所述第一端部部件的统一直径部件和接触所述第二端部部件的可变直径部件。

5.根据权利要求4所述的用于减少包括在处理气体中的有害物质的等离子体反应器，其中，

所述可变直径部件的长度比所述统一直径部件的长度小，以及

所述第二接地电极连接到所述统一直径部件的端部部分，所述统一直径部件的端部部分接触所述可变直径部件。

6.根据权利要求2所述的用于减少包括在处理气体中的有害物质的等离子体反应器，还包括第三接地电极，所述第三接地电极位于所述第一接地电极的内部且位于所述第二接地电极和所述第一端部部件之间。

7.根据权利要求2所述的用于减少包括在处理气体中的有害物质的等离子体反应器，其中，

所述第二接地电极接触所述第二端部部件或与所述第二端部部件间隔开，

其中整个所述第一接地电极形成为具有统一直径，以及

所述第一绝缘部件形成为具有与所述第一接地电极的直径相同的直径，或具有比所述第一接地电极的直径小的直径。

8.根据权利要求1所述的用于减少包括在处理气体中的有害物质的等离子体反应器，其中，

所述绝缘体形成为具有覆盖所述第二端部部件的平面形状，且

所述驱动电极被固定到具有平面形状的所述绝缘体的外表面。

9.根据权利要求6所述的用于减少包括在处理气体中的有害物质的等离子体反应器，其中，

所述第三接地电极形成为具有与所述第一接地电极的内壁交汇的平面形状，且通过与所述第一接地电极间隔开或形成至少一个开口，而使所述处理气体穿过。

10.根据权利要求6所述的用于减少包括在处理气体中的有害物质的等离子体反应器，其中，所述第三接地电极形成为具有被固定到所述第一接地电极的内壁的管状形状，且形成为具有越远离所述绝缘体其宽度越减小的开口。

11.根据权利要求6所述的用于减少包括在处理气体中的有害物质的等离子体反应器，还包括其一端部被阻塞的管构件，且所述管构件附接在所述第一接地电极的面向所述第二接地电极的侧表面处，以增加所述处理气体的停留时间。

12.根据权利要求6所述的用于减少包括在处理气体中的有害物质的等离子体反应器，其中，

所述第一接地电极的环绕所述第三接地电极的部分被扩展，且用作颗粒收集箱，以及

所述第三接地电极形成在所述颗粒收集箱中，且具有比所述第一接地电极的直径大的直径。