[发明专利]一种用于光配向的光罩装置及应用设备

权利要求书

1.一种用于光配向的光罩装置，其特征在于，包括：

第一光罩和第二光罩；

所述第一光罩包括第一重叠区和第一非重叠区；

所述第二光罩包括第二重叠区和第二非重叠区；

所述第一重叠区和所述第二重叠区彼此重叠；

所述第一重叠区包括沿第一方向排列的多个透射的开口部；

所述第一非重叠区包括沿所述第一方向排列的多个透射的开口部；

所述第二重叠区包括沿所述第一方向排列的多个透射的开口部；

所述第二非重叠区包括沿所述第一方向排列的多个透射的开口部；

所述第一非重叠区的开口部和所述第二非重叠区域的开口部相同；

其中，所述第一非重叠区的开口部和所述第二非重叠区的开口部是第一长方形；

所述第一长方形的宽度方向与所述第一方向相同；

所述第一重叠区的开口部和所述第二重叠区的开口部是多个第三长方形，且所述第三长方形在所述第一方向上的尺寸与所述第一长方形的宽度相同或不同，所述第一重叠区与所述第一非重叠区具有相同的底边水平位置和顶边水平位置，所述第二重叠区与所述第二非重叠区具有相同的顶边水平位置和底边水平位置，所述第一重叠区的开口部和所述第二重叠区的开口部是通过马赛克算法得到；

所述第一重叠区的开口部的高度Y1满足Y1＝Hsin²(πX/2L)；

所述第二重叠区的开口部的高度Y2满足Y2＝Hcos²(πX/2L)；

其中H是所述第一非重叠区域的开口部和所述第二非重叠区域的开口部的高度，X＝L-M，L是所述第一重叠区和所述第二重叠区的长度，M是所述第一重叠区和所述第二重叠区距离所述第一非重叠区或所述第二非重叠区的距离。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述第一重叠区的开口部和所述第二重叠区的开口部彼此不重叠。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述第一重叠区的开口部和所述第二重叠区的开口部的布置形式对称或不对称。

4.一种曝光设备，其特征在于，

所述曝光设备包括权利要求1至3任一项所述的光罩装置以及第一光源和第二光源；

所述第一光源用于向所述第一光罩的开口部提供光；

所述第二光源用于向所述第二光罩的开口部提供光。

5.根据权利要求4所述的曝光设备，其特征在于，

所述第一光源和所述第二光源是紫外光。