[发明专利]确定薄膜晶体管所需最优薄膜密度的方法

权利要求书

1.确定薄膜晶体管所需最优薄膜密度的方法，该方法按如下步骤进行：

a、准备不同长度的样本；

b、制备不同密度的碳管薄膜；

c、测量薄膜晶体管的性能，绘制开关比-迁移率相互关系图；

d、AFM表征晶体管通道薄膜；

e、计算密度。

进一步的，所述薄膜晶体管为碳纳米管，所述碳纳米管可以是单壁碳纳米管，多壁碳纳米管。

2.如权利要求1所述的确定薄膜晶体管所需最优薄膜密度的方法，其特征是所述碳纳米管样本由DGU方法制备，密度梯度介质溶液由体积百分比60％的碘克沙醇和适量的2wt％脱氧胆酸钠溶液或碳纳米管的溶液构成，碳纳米管密度为0.8～1.2mg/ml，将置有上述密度梯度介质溶液的离心管在24,600～153,700g，5℃的条件下高速离心94～18小时，随后，离心管中的悬浮液被提取了10层/mL。

3.如权利要求1所述的确定薄膜晶体管所需最优薄膜密度的方法，其特征是所述碳管薄膜由点滴法制备，其具体方法是：将不同长度的碳管样本用2wt％脱氧胆酸钠溶液调到0.01～0.04mg/ml浓度，将稀释过的不同长度的碳管溶液分别滴到薄膜晶体管的通道上形成活性层，不同体积的碳管溶液用于产生各种密度的碳管薄膜，接着室温自然晾干后用甲醇冲洗。