[发明专利]一种可观察半导体薄膜设备传片腔室结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种可观察半导体薄膜设备传片腔室结构，此结构主要应用于半导体镀膜设备传片腔室中基板的有无及状态的观察，属于半导体薄膜沉积的应用与制备技术领域。

背景技术

现有半导体镀膜设备为提高产能，在传片腔室内采用双层机械手臂传片，在机械手传片的过程中，可能会发生滑片、撞片、碎片等现象。为了能够观察到双层机械手臂的传片状态，一般采用了比较厚的大透明塑料板，此透明盖板的材料成本及加工费用极高，表面易受到刮伤。

发明内容

本发明以解决上述问题为目的，设计了一种新型的可观察半导体薄膜设备传片腔室结构。该结构将大透明盖板变换为多个小的透明盖板，并为一体化结构，实现了对双层机械手臂传片时基板有无及状态的观察，而且降低了成本。

为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：一种可观察半导体薄膜设备传片腔室结构，主要包括升降机构连接板(1)、传片腔室盖板(2)及密封圈(3)。所述传片腔室盖板(2)上设有多个圆形透明单元(5)。所述圆形透明单元(5)通过密封圈(3)及螺钉A(4)与传片腔室盖板(2)密封连接，整个结构呈一体，可通过升降机构连接板(1)后端的气缸进行开关操作。

上述升降机构连接板(1)通过螺钉B(6)与传片腔室盖板(2)固定连接。

依据机械手左右手之间的间距及传片通道位置，参考机械手上基板位置迹线(7)在X和Y方向的交点位置，选取外侧交叉点位置，设计的圆形透明单元(5)所在观察位置结构对称位，机械手在X或Y任意方向传取片时，都可观察到晶圆的有无及状态。

本发明的有益效果及特点在于：

1、本发明实现了一种可观察半导体薄膜设备传片腔室结构，四处观察位置结构对称，机械手在X或Y任意方向传取片时，都可观察到晶圆的有无及状态；

2、依附于1的基础上，多处小透明盖板的分布替代了比较厚的大透明盖板，大大的降低了设备的总成本并提高了设备的整体美观性。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

实施例

参照图1，一种可观察半导体薄膜设备传片腔室结构，主要包括升降机构连接板1、传片腔室盖板2及密封圈3。所述传片腔室盖板2上设有多个圆形透明单元5，圆形透明单元5分布在传片腔室盖板2的四个角或中间的位置。所述圆形透明单元5通过密封圈3及螺钉A4与传片腔室盖板2密封连接，整个结构呈一体，可通过升降机构连接板1后端的气缸进行开关操作。

上述升降机构连接板1通过螺钉B6与传片腔室盖板2固定连接。

上述螺钉A4采用M6内六角螺钉；

上述螺钉6采用M8内六角螺钉。

依据机械手左右手之间的间距及传片通道位置，参考机械手上基板位置迹线7在X和Y方向的交点位置，选取外侧交叉点位置，设计的圆形透明单元5所在观察位置结构对称位，机械手在X或Y任意方向传取片时，都可观察到晶圆的有无及状态。