[发明专利]一种基板支撑结构、真空干燥设备以及真空干燥的方法

权利要求书

1.一种基板支撑结构，其特征在于，包括：

支撑销，所述支撑销的顶端用于支撑基板；

辅助支撑组件，所述辅助支撑组件包括驱动装置，所述驱动装置连接有支撑杆，所述支撑杆的顶端设有支撑盘，所述支撑盘由柔性材料制作，所述驱动装置可带动所述支撑杆沿平行于所述支撑销的方向移动，随着所述支撑杆的移动，所述支撑盘可高于或低于所述支撑销的顶端。

2.根据权利要求1所述的基板支撑结构，其特征在于，所述支撑销内部设有空腔，所述驱动装置设置于所述空腔内，所述支撑销的侧壁设有沿径向贯穿所述支撑销的侧壁且沿轴向延伸的长槽，所述支撑杆的下端与所述驱动装置连接，所述支撑杆的顶端经由所述长槽伸出所述空腔外设置。

3.根据权利要求2所述的基板支撑结构，其特征在于，所述支撑杆包括一个主杆和多个支杆，所述主杆的下端与所述驱动装置连接，所述主杆的上端与多个所述支杆的下端连接，所述支撑销的侧壁对应多个所述支杆的位置开设有多个所述长槽，多个所述支杆的顶端分别经由多个所述长槽伸出所述空腔外设置，多个所述支杆的顶端位于同一平面，所述支撑盘为多个，多个所述支撑盘一一对应设置于多个所述支杆的顶端。

4.根据权利要求3所述的基板支撑结构，其特征在于，多个所述支杆沿所述主杆的周向均匀分布。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的基板支撑结构，其特征在于，所述支撑盘为真空吸盘，所述真空吸盘连接有真空发生器，当所述真空吸盘的吸附面与基板表面贴合时，所述真空发生器可抽出真空吸盘的吸附面与基板表面之间的气体，使所述真空吸盘的吸附面与基板表面之间产生真空，并且可向真空吸盘的吸附面与基板表面之间充气，使所述真空吸盘的吸附面与基板表面之间的真空解除。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的基板支撑结构，其特征在于，所述柔性材料包括橡胶。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的基板支撑结构，其特征在于，所述支撑销的顶端为圆锥形结构。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的基板支撑结构，其特征在于，还包括控制系统，所述控制系统和所述驱动装置连接，所述控制系统可控制所述驱动装置，使所述驱动装置带动所述支撑杆沿平行于所述支撑销的方向向上或向下移动。

9.一种真空干燥设备，其特征在于，包括支撑平台，所述支撑平台的表面设有多个如权利要求1～8中任一项所述的基板支撑结构。

10.一种利用权利要求9所述的真空干燥设备对基板进行真空干燥的方法，其特征在于，包括以下步骤：

控制各基板支撑结构的驱动装置，使各驱动装置带动各支撑杆向上移动相同的距离，直至各支撑盘形成的平面高于各支撑销顶端形成的平面；

将待真空干燥的基板放置于支撑盘形成的平面上；

控制各基板支撑结构的驱动装置，使各驱动装置带动各支撑杆向下移动相同的距离，直至各支撑盘形成的平面低于各支撑销顶端形成的平面，从而使得待真空干燥的基板落入各支撑销顶端形成的平面上；

启动真空干燥设备对位于支撑销顶端形成的平面上的基板进行真空干燥。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，在启动真空干燥设备对位于支撑销顶端形成的平面上的基板进行真空干燥后，还包括以下步骤：

控制各基板支撑结构的驱动装置，使各驱动装置带动各支撑杆向上移动相同的距离，直至各支撑盘形成的平面将真空干燥完毕的基板顶起；

取出真空干燥完毕的基板。