[发明专利]裸片拾取单元、包括其的裸片接合设备及裸片接合方法

权利要求书

1.一种裸片拾取单元，其包括：

支撑包含多个裸片的晶片的支撑板；

布置在所述支撑板的上方以检测所述裸片的位置的检视部件；

布置在所述支撑板的下方以推顶经所述检视部件检测的裸片的推顶部件；

第一倒置拾取部件和第二倒置拾取部件，其在一水平轴(x)方向上同轴地布置在所述支撑板的上方以拾取由所述推顶部件推顶的裸片并且包括用于倒置被拾取的裸片的旋转部件，且所述第一倒置拾取部件和第二倒置拾取部件与所述检视部件在所述水平轴(x)方向上同轴地布置，

在所述水平轴(x)方向上分别移动所述第一倒置拾取部件和第二倒置拾取部件以交替和顺序地拾取所述裸片的第一和第二拾取驱动部件；以及

检视驱动部件，其连接到所述检视部件并且配置为移动所述检视部件，以在所述第一倒置拾取部件或第二倒置拾取部件拾取所述推顶的裸片时检测随后欲拾取的另一个裸片的位置。

2.根据权利要求1所述的裸片拾取单元，其中所述拾取驱动部件在与所述检视驱动部件移动所述检视部件的方向相同的方向上移动所述第一倒置拾取部件和第二倒置拾取部件。

3.根据权利要求1所述的裸片拾取单元，其中所述拾取驱动部件包括线性电动机。

4.根据权利要求1所述的裸片拾取单元，其还包括在与所述检视驱动部件移动所述检视部件的方向相同的方向上移动所述推顶部件的推顶器驱动部件。

5.根据权利要求1所述的裸片拾取单元，其还包括在与所述检视驱动部件移动所述检视部件的方向垂直的方向上移动所述支撑板的支撑驱动部件。

6.一种裸片接合设备，其包括：

裸片拾取单元，其包括：支撑包含多个裸片的晶片的支撑板；布置在所述支撑板的上方以检测所述裸片的位置的检视部件；布置在所述支撑板的下方以推顶由所述检视部件检测的裸片的推顶部件；第一倒置拾取部件和第二倒置拾取部件，其在一水平轴(x)方向上同轴地布置在所述支撑板的上方以拾取由所述推顶部件推顶的裸片并且包括用于倒置被拾取的裸片的旋转部件，且所述第一倒置拾取部件和第二倒置拾取部件与所述检视部件在所述水平轴(x)方向上同轴地布置；在所述水平轴(x)方向上分别移动所述第一倒置拾取部件和第二倒置拾取部件以交替和顺序地拾取所述裸片的第一和第二拾取驱动部件；以及检视驱动部件，其连接到所述检视部件并且配置为移动所述检视部件，以在所述第一倒置拾取部件或第二倒置拾取部件拾取推顶的裸片时检测随后欲拾取的另一个裸片的位置；以及

裸片接合单元，其邻接所述倒置拾取部件布置，以接收所述倒置的裸片并将所述倒置的裸片接合在衬底上。

7.根据权利要求6所述的裸片接合设备，其中所述裸片接合单元包括：

拾取并转移所述倒置的裸片的裸片转移部件；

将所述衬底从外部加载到接合区域的衬底加载部件；以及

将由所述裸片转移部件转移的裸片接合在所述衬底上的接合部件。

8.根据权利要求6所述的裸片接合设备，其中所述裸片接合单元还包括邻接所述裸片转移部件布置并且配置为拾取并转移由所述倒置拾取部件拾取并倒置的裸片的缓冲转移部件。

9.根据权利要求6所述的裸片接合设备，其中所述裸片接合单元还包括可移动地布置在所述裸片转移部件与所述接合部件之间的中间转移部件，所述中间转移部件接收多个倒置的裸片，然后将所述倒置的裸片转移到所述接合部件。

10.根据权利要求9所述的裸片接合设备，其中所述接合部件包括多个接合头以将所述多个倒置的裸片同时接合在所述衬底上。

11.一种接合裸片的方法，其用权利要求6-10的任一项所述的裸片结合设备执行，所述方法包括：

使用位于包含多个裸片的晶片的上方的检视部件检测所述多个裸片中的任一个的位置；

从所述晶片推顶经所述检视部件检测的裸片；

拾取并倒置所述推顶的裸片，同时朝向邻接所述被拾取的裸片的随后欲拾取的另一裸片移动所述检视部件以检测其位置；以及

将所述倒置的裸片接合在衬底上。

12.根据权利要求11所述的方法，其中将包括所述倒置的裸片的多个倒置的裸片由裸片转移部件顺序地转移到中间转移部件，然后由所述中间转移部件同时转移到用于接合所述倒置的裸片的接合部件。