[发明专利]一种晶棒的拉晶方法在审
申请号: | 201510215597.6 | 申请日: | 2015-05-01 |
公开(公告)号: | CN104818523A | 公开(公告)日: | 2015-08-05 |
发明(设计)人: | 陈磊;刘栓红;赵丽萍;张文涛;蔡水占;郭晶晶;张会超;陈永平;王东胜;惠小青;辛世明;田红丽 | 申请(专利权)人: | 河南鸿昌电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B30/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 461500 河南省许昌*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 方法 | ||
1.一种晶棒的拉晶方法,晶棒是在拉晶炉中进行的,包括以下步骤:
a、将晶棒在30—40分钟内温度升至280—320℃,并保持10-15分钟;
b、将上述步骤a中晶棒在7-9分钟内冷却到50—60℃即可。
2.根据权利要求1所述的拉晶方法,其特征是:
a、将晶棒在35分钟内温度升至300℃,并保持12分钟;
b、将上述步骤a中晶棒在8分钟内冷却到55℃即可。
3.根据权利要求1所述的拉晶方法,其特征是:上述步骤a中,晶棒是在10—12V/cm的电场中进行的。
4.根据权利要求2所述的拉晶方法,其特征是:上述步骤a中,晶棒是在10—12V/cm的电场中进行的。
5.根据权利要求1、2、3或4所述的拉晶方法,其特征是:上述步骤a中,晶棒是在振幅1毫米、频率40—60赫兹情况下进行的。
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