[发明专利]闸阀有效
申请号: | 201510215805.2 | 申请日: | 2015-04-29 |
公开(公告)号: | CN105020423B | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 石垣恒雄;下田洋己;长尾格 | 申请(专利权)人: | SMC株式会社 |
主分类号: | F16K3/18 | 分类号: | F16K3/18;F16K51/02 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 梅高强;崔巍 |
地址: | 日本国东京都千*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 闸阀 | ||
一种闸阀(10),在组成闸阀(10)的阀箱(16)中,平衡室(32)配置在面对处理室(S1)的一侧壁(16a)上。在平衡室(32)中,第一密封构件(34)配置成包围第一通道(12),并且第二密封构件(36)安装在平衡室(32)的外边缘上。进一步,平衡端口(38)形成在平衡室(32)中。平衡端口(38))与形成在阀箱(16)的内部的容纳室(28)连通。在阀盘(24)座设在阀箱(16)的阀座(30)的阀闭合状态下,在容纳室(28)内侧的压力和在平衡室(32)内侧的压力通过平衡端口(38)相等或者一致。
技术领域
本发明涉及一种闸阀,该闸阀安装在半导体处理设备中的真空室中,并且设置用于打开/闭合与真空室连通的开口。
背景技术
迄今为止,在用于半导体晶片或者液晶基板等等的处理设备中,执行半导体晶片或者液晶基板等等通过通道进入或离开各个处理室的操作。在各个通道中,闸阀被用于执行打开和闭合通道的操作。
例如,如在日本专利申请公报No.11-351419中公开的,这种闸阀设置成通过阀杆的线性移动在阀箱中,使得阀盘处在与阀座面对的位置,阀杆在缸的驱动作用下位移。此后,通过使阀盘水平地移动从而阀盘的密封构件挤压阀座,形成在阀箱中的通道闭合。
发明内容
在上述闸阀中,已知这种情况:例如,在阀盘座设在阀座上的阀闭合状态下,连接到阀箱的一端侧的一个处理室保持在大气压,然而连接到阀箱的另一端侧的另一个处理室保持在真空。在这种情况下,由于一个处理室和阀箱的内部由阀盘分开,然而另一个处理室和阀箱的内部连通并且保持在真空压力,由于产生在阀箱的内侧和阀箱的外侧的压力差,阀箱的壁被向内挤压并且趋于经受变形。
特别地,如果设置用于座设阀盘的壁部经受变形,阀盘上的密封构件的密封性能将劣化。因此,为了抑制由于压力差的阀箱的变形,尽管可以考虑事先使得阀箱的壁形成具有某个厚度。在这种情况下,然而,阀箱的重量增加,并且也不利地增加了整个闸阀的总重量。
本发明的主要目的是提供一种闸阀,该闸阀能够防止阀箱的变形同时避免重量增加,并且当闸阀闭合时,能够可靠地和稳定地执行密封。
本发明的特征是,闸阀配备有:阀箱;阀盘,该阀盘被构造成座设在形成在阀箱中的阀座上;阀杆,该阀杆连接到阀盘并且被构造成使得阀盘进行线性移动以及接近和远离阀座的移动;和驱动单元,该驱动单元配置在外壳的内部,阀箱连接到外壳,驱动单元使阀杆沿着轴线方向线性地位移。
在闸阀中,阀箱包括:
容纳室,阀盘被容纳在该容纳室中;
壁部,该壁部构成容纳室的一部分并且具有阀座,阀盘座设在阀座上;
通道,该通道形成在壁部中并且提供容纳室和邻近于阀箱的处理室之间的连通;
平衡室,该平衡室以面对处理室的关系形成在壁部中;和
连通端口,该连通端口提供平衡室和容纳室之间的连通,并且配置成在平衡室的内部不与通道连通。
根据本发明,在组成闸阀的阀箱中,设置一些元件,诸如,容纳室,阀盘被容纳在容纳室中;壁部,该壁部具有阀座,阀盘座设在阀座上;通道,该通道形成在壁部中并且提供容纳室和邻近于阀箱的处理室之间的连通;平衡室,该平衡室形成为面对处理室;和连通端口,该连通端口提供平衡室和容纳室之间的连通,并且配置成在平衡室的内部不与通道连通。
因此,例如,在阀盘座设在阀座上的阀闭合状态下,即使在容纳室和邻近于容纳室的处理室之间产生压力差,容纳室和平衡室的压力通过连通端口相等或者设置成相同的压力,从而避免由于压力差产生的作用到设置在容纳室和处理室之间的壁部的负载。因此,不用增加阀箱的重量,能够可靠地防止由于压力差导致的阀箱中的壁部的变形。进一步,通过防止设置在壁部中的阀座的变形,当闸阀闭合时能够可靠地且稳定地执行阀盘相对于阀座的密封。
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