[发明专利]用于半球试件湿法刻蚀各向异性速率测试的可调整式夹具

权利要求书

1.一种用于半球试件湿法刻蚀各向异性速率测试的可调整式夹具，其特征在于，该夹具包括底座(1)、滑钉底座(4)、第一定位夹紧滑钉(8)、第二定位夹紧滑钉(10)和紧固塞(3)，所述底座(1)上设置有圆形T型槽(15)、切割所述圆形T型槽(15)的全通直线T型槽(13)和半通直线T型槽(14)，所述全通直线T型槽(13)贯穿底座(1)两端面，所述半通直线T型槽(14)贯穿底座(1)一侧端面，并垂直于全通直线T型槽(13)但不与之相交，所述滑钉底座(4)嵌入圆形T型槽(15)并能在其中滑动，滑钉底座(4)上设置有水平的销钉孔(16)和装配在所述销钉孔(16)中的夹紧销钉(2)，所述第一定位夹紧滑钉(8)嵌入半通直线T型槽(14)并能在其中滑动，所述第二定位夹紧滑钉(10)嵌入全通直线T型槽(13)并能在其中滑动，所述紧固塞(3)从全通直线T型槽(13)任意一侧塞入，推动第二定位夹紧滑钉(10)并将其卡紧。

2.根据权利要求1所述的用于半球试件湿法刻蚀各向异性速率测试的可调整式夹具，其特征在于，所述圆形T型槽(15)以底座(1)平面形心为圆心，所述半通直线T型槽(14)位于底座(1)的中线上并延伸至中心处。

3.根据权利要求1所述的用于半球试件湿法刻蚀各向异性速率测试的可调整式夹具，其特征在于，该夹具还包括用于保护刻蚀球底面免遭刻蚀的球底托片(9)，所述球底托片(9)上设置有供第一定位夹紧滑钉(8)、第二定位夹紧滑钉(10)穿过的通孔(17)。

4.根据权利要求1、2或3所述的用于半球试件湿法刻蚀各向异性速率测试的可调整式夹具，其特征在于，所述底座(1)上设置有由提篮竖杆(5)、连接螺栓(6)、提篮横梁(7)构成的提取机构。