[发明专利]功能元件、物理量传感器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种功能元件，其特征在于，包括：

基板，其并列设置有第一固定电极以及第二固定电极；

质量体，其包括第一质量部、第二质量部以及被配置在所述第一质量部与所述第二质量部之间的固定部，所述第一质量部与所述第一固定电极隔着间隙而对置，所述第二质量部与所述第二固定电极隔着间隙而对置；

卡止部，其被设置在所述固定部上，且被固定在所述基板上，并且，所述卡止部的支承梁侧的角部在俯视观察时被倒角或被削圆；

支承梁，其长度方向沿着第一方向，并对所述质量体和所述固定部进行连接，所述第一方向为，与并列设置所述第一固定电极部和所述第二固定电机部的方向正交的方向，

所述质量体在所述基板和所述质量体重叠的第二方向上能够以所述支承梁为轴而进行摆动，

在从所述第二方向观察的俯视观察时，所述卡止部包括：

第一部分，其位于所述支承梁与所述第一质量部之间，且以长度方向沿着所述第一方向的方式而与所述固定部连接，

第二部分，其位于所述支承梁与所述第二质量部之间，且以长度方向沿着所述第一方向的方式而与所述固定部连接，

所述第一部分以及所述第二部分在俯视观察时，各自的沿着与所述第一方向正交的第三方向的宽度宽于所述支承梁，并且被固定在所述基板上，

在沿着所述第三方向而将所述第一部分与所述支承梁间的距离以及所述第二部分与所述支承梁间的距离分别设为L1，将所述第一部分与所述第一质量体间的距离以及所述第二部分与所述第二质量部间的距离分别设为L2时，则满足L1＞L2的关系。

2.如权利要求1所述的功能元件，其特征在于，

所述卡止部及所述质量体中的至少一方上设置有向对置的对方侧突出的突起部，

所述突起部的顶端与对置的对方之间的距离为L2。

3.如权利要求1所述的功能元件，其特征在于，

所述支承梁、所述固定部以及所述卡止部在俯视观察时被配置于所述质量体的内侧。

4.如权利要求1所述的功能元件，其特征在于，

所述支承梁、所述固定部以及所述卡止部在俯视观察时被配置于所述质量体的外侧。

5.一种物理量传感器，其特征在于，

具有权利要求1所述的功能元件。

6.一种电子设备，其特征在于，

具有权利要求1所述的功能元件。

7.一种移动体，其特征在于，

具有权利要求1所述的功能元件。